ALD中射頻阻抗匹配器的設計與研究
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3 等離子體產生前后負載阻抗變化分析
ALD中負載阻抗為一電感線圈，在頻率為13．56 MHz的高頻電磁場作用下，氬氣電離，產生環(huán)形球狀的低溫等離子體。在等離子體產生后，負載線圈內的電流產生感應磁場，使得負載線圈與等離子體產生互感現象，形成并聯互感電路模型，如圖5所示。本文引用地址：http://m.butianyuan.cn/article/154774.htm
在互感模型圖中，L11和RL為負載線圈的感性分量和電阻分量；L28和R為等離子體的感性分量和電阻分量，M為互感系數。互感系數M及負載阻抗ZL的計算如下：
式中：ki為耦合系數；L12為互感。
經計算得耦合電感L=1 644 nH，負載阻抗Z=16．4+140j。此時，匹配網絡參數如表1中等離子體產生后的參數所示。
通過對ALD中負載在兩種狀態(tài)下的阻抗匹配分析，可以確定等離子體產生前后負載阻抗及阻抗匹配網絡中串、并聯電容的變化趨勢，即負載電感變小，串聯可變電容容值變大，并聯可變電容容值變小。
4 結語
本文詳細闡述原子層沉積系統(tǒng)(ALD)中射頻阻抗匹配器的設計方案，利用ADS軟件對等離子體產生前的負載電路模型進行了仿真，并對等離子體產生前后負載阻抗的變化進行了深入分析，得出負載阻抗及匹配網絡參數的變化趨勢。經過多次試驗，能順利使腔室啟輝，快速地使系統(tǒng)的反射功率為0，使系統(tǒng)處于阻抗匹配狀態(tài)。
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