MEMS技術(shù)發(fā)展及應(yīng)用優(yōu)勢

摘要

敘述了在微工程研究領(lǐng)域有代表性的微機電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)特點，介紹了MEMS壓力傳感器、MEMS陀螺儀、MEMS加速度計等典型的MEMS產(chǎn)品，概述了MEMS基礎(chǔ)理論研究進展以及國外對MEMS陀螺儀、MEMS加速度計的研究和發(fā)展現(xiàn)狀，分析了MEMS技術(shù)在飛航導(dǎo)彈等飛行器上的應(yīng)用優(yōu)勢。

引言

新興的微米與納米技術(shù)正在派生出一門新興學(xué)科叫微工程，它專門研究具有納米、微米和毫米尺寸的實體結(jié)構(gòu)的三維小型傳感器和執(zhí)行機構(gòu)的設(shè)計、材料合成、微機械加工、組裝、總裝和封裝。利用這項技術(shù)可以把傳感器、執(zhí)行機構(gòu)以及信號和數(shù)據(jù)處理器做在同塊芯片上，構(gòu)成件微型儀表。目前，研究和開發(fā)微納米級的微機電系統(tǒng)和專用微型儀表(ASIM),包括微納米傳感器、傳動件、執(zhí)行器以及智能材料等已成為熱門課題。20世紀70年代興起的微電子機械系統(tǒng)，是集執(zhí)行器和傳感器等微型裝置、微型機構(gòu)、微尺度驅(qū)動、控制與處理集成電路(IC)為一體的微型系統(tǒng)。隨著MEMS的出現(xiàn)和發(fā)展，航天微系統(tǒng)時代將伴隨而來。MEMS技術(shù)的發(fā)展，為未來飛航導(dǎo)彈等高端航天航空飛行器的設(shè)計提供很大的發(fā)揮空間。

1 MEMS的技術(shù)特點和典型產(chǎn)品

1)MEMS的技術(shù)特點

基于微機電系統(tǒng)技術(shù)的傳感器一般是由硅基材料和利用半導(dǎo)體集成電路制造工藝制造而成的集微機械、微電子功能高度綜合的傳感器系統(tǒng)，它具有顯著的尺寸小、質(zhì)量輕、功耗低、成本低、可靠性高、抗振動沖擊能力強等特點。同時，在微米量級的特征尺寸使得它們可以完成某些傳統(tǒng)傳感器所不能實現(xiàn)的功能。目前研制的MEMS產(chǎn)品主要包括微機電陀螺儀、微機電加速度計及微壓力計等在內(nèi)的微機電傳感器。由于在尺寸、質(zhì)量、功耗和可靠性等方面的突出特點，MEMS傳感器被應(yīng)用于軍事領(lǐng)域和抗惡劣環(huán)境要求高的場合。

2)MEMS壓力傳感器

微機電壓力傳感器是最早開始研制、最早開始產(chǎn)業(yè)化的MEMS產(chǎn)品。從信號檢測方式來看，微機械壓力傳感器分為壓阻式和電容式兩類，分別以體微機械加工技術(shù)和犧牲層技術(shù)為基礎(chǔ)。目前，壓阻式壓力傳感器的精度可達0.05%-0.01%，溫度誤差為0.0002%，耐壓可達幾百兆帕，過壓保護范圍可達傳感器量程的20倍以上，并能進行大范圍下的全溫補償。硅微諧振式傳感器除了具有普通微傳感器的優(yōu)點外，還具有準(zhǔn)數(shù)字信號輸出，抗干擾能力強，分辨力和測量精度高的優(yōu)點。并且將敏感元件與信號調(diào)理電路高度集成在一塊芯片上，大大提高可靠性和減低制造成本，具有很好的應(yīng)用前景。

3) MEMS加速度計

運動載體的線運動加速度是通過加速度傳感器測量的，硅微加速度傳感器是繼微壓力傳感器之后第二個進入市場的MEMS傳感器。其主要類型有壓阻式、電容式、力平衡式和諧振式，最具有吸引力的是力平衡加速度計。其主要的制造手段是硅片表面微機械工藝和BiCMOS技術(shù)。目前工程化的MESM加速度計精度在國外已達到100ug以內(nèi)。

4)MEMS陀螺儀

飛行器飛行姿態(tài)運動是用陀螺儀來進行測量的。傳統(tǒng)的陀螺儀是利用高速轉(zhuǎn)動的物體具有保持其角動量的特性來測量角速度。常見的MEMS陀螺儀有雙平衡環(huán)結(jié)構(gòu)、懸臂梁結(jié)構(gòu)、音義結(jié)構(gòu)、振動環(huán)結(jié)構(gòu)等，通過被激勵的振動體對哥氏加速度的敏感來測量角速度。1988年，美國德雷伯實驗室研制出第一臺框架式角振動微機電陀螺儀，1993年又研制出性能更好的音叉式線振動陀螺儀。影響其應(yīng)用的主要問題是精度限制，提高精度的手段主要是改進微細加工工藝和誤差分離/補償技術(shù)。

2國外MEMS技術(shù)發(fā)展現(xiàn)狀

2.1 MEMS基礎(chǔ)理論研究發(fā)展

MEMS不同于傳統(tǒng)機電系統(tǒng)，自身還有宏觀物理學(xué)難以解釋和預(yù)測的特定規(guī)律，諸如微構(gòu)件力學(xué)性能、微摩擦機理、微流體力學(xué)、微傳熱學(xué)等基礎(chǔ)理論研究仍然需要深入探索和關(guān)注。對于某些微納尺寸構(gòu)件或系統(tǒng)，其微尺度效應(yīng)與宏觀現(xiàn)象差異很大，甚至發(fā)生質(zhì)的變化，諸如力的尺寸效應(yīng)、微結(jié)構(gòu)表面效應(yīng)、微觀摩擦機理、熱傳導(dǎo)、誤差效應(yīng)和微構(gòu)件力學(xué)性能等。在微觀領(lǐng)域，與物體特征尺寸成高次方的慣性力、電磁力作用會隨著特征尺寸的減小而快速下降，與特征尺寸成低次方的黏性力、彈性力、靜電力、范德華力等減小的速度會慢的多，比高次方的力相對增大;在許多情況下，重力和慣性力可忽略，表面力和靜電引力成為對系統(tǒng)性能起主導(dǎo)影響作用的因素.微構(gòu)件相對運動時，表面摩擦力、潤滑膜粘滯力表現(xiàn)突出;微觀摩擦將取決于構(gòu)件表面間的分子作用力，而不再是載荷壓力，牛頓摩擦定律在此已不適用。在微流體力學(xué)中，微管道中液體的輸送機理和外在表現(xiàn)與Navier-Stokes流體方程出現(xiàn)偏離，需要基于微流體動態(tài)測試平臺進行修正。在微尺度傳熱學(xué)中，微槽、微孔、微管等微器件內(nèi)部的傳質(zhì)傳熱特性亦與宏觀傳熱油很大差異。

目前，MEMS基礎(chǔ)理論研究已取得一些研究進展，并開發(fā)出一些測試儀器或系統(tǒng)對微尺度理論體系進行完善，但尚不系統(tǒng)化，有待于進一步對微結(jié)構(gòu)學(xué)、微動力學(xué)、微流體力學(xué)、微摩擦學(xué)、微熱力學(xué)、微電子學(xué)、微光學(xué)、微生物學(xué)等進行研究。

2.2 MEMS加速度計發(fā)展現(xiàn)狀

美國ADI公司最早實現(xiàn)加速度計結(jié)構(gòu)和電路的單片集成，自1993年第1只表面硅工藝生產(chǎn)的硅加速度計出售至今，以ADXI5O為代表的微慣性器件全球銷量已超過l億件。其器件不斷朝高性能、小體積方向發(fā)展，此類加速度計主要針對工業(yè)傳感領(lǐng)域，如汽車氣囊的彈射觸發(fā)等.ADI公司微加速度計的性能發(fā)展列于下表。

為了減小體積和成本，ADI公司還進行了雙軸單片集成硅加速度計的研制，成品為ADXL203雙軸硅微加速度計，量程為1.7 g,精度為5.0 mg。加州大學(xué)伯克利分校采用2um標(biāo)準(zhǔn)CMOS工藝研制的三軸加速度計，芯片見圖1。3個分離的檢測質(zhì)量為2um厚的多晶硅，其檢測電路包括約1000個晶體管。另外，伯克利分校還報道了一種采用單質(zhì)量塊實現(xiàn)的三軸加速度計,Litton SiACTM硅加速度計為其典型的代表，量程超過100g,零偏優(yōu)于20ug,標(biāo)度因數(shù)穩(wěn)定性優(yōu)于5x10的-5次方。采用全硅結(jié)構(gòu)，體積小、質(zhì)是輕、功耗低。此類加速度計針對導(dǎo)航和制導(dǎo)領(lǐng)域如小型無人機的導(dǎo)航和控制、短程戰(zhàn)術(shù)武器制導(dǎo)等等，已廣泛應(yīng)用于LN-200、 LN-200S、LN-300等慣性測量組合上，以及LTN-101E、LI-SA-200兩種民用和軍用飛機慣性導(dǎo)航系統(tǒng)上。