CCD傳感器實時檢測技術(shù)在微細(xì)電火花加工機床上應(yīng)用的優(yōu)勢
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2 CCD傳感器實時檢測系統(tǒng)重復(fù)測量的穩(wěn)定性
為了檢驗CCD傳感器實時檢測系統(tǒng)重復(fù)測量的穩(wěn)定性，標(biāo)準(zhǔn)工件上3個小孔的直徑在同樣條件下被重復(fù)測試33 900次，總共438小時。同時，由于機械探頭接觸掃描式檢測儀器Leitz PMM866被廣泛用在測量工件質(zhì)量的過程中，能滿足大多數(shù)客戶對精度的需求，所以，這種儀器的測量結(jié)果將被當(dāng)做參照值。
表1分析總結(jié)收集的所有結(jié)果分別得到3個圓孔平均直徑和標(biāo)準(zhǔn)偏差，以及機械探頭接觸式儀器Leitz PMM866測量對比值。本文引用地址：http://m.butianyuan.cn/article/160465.htm
從表格1中可得所有圓孔半徑的標(biāo)準(zhǔn)偏差都在0．5μm左右，并且與Leitz PMM866所得結(jié)果的偏差從-0．3μm到0，都滿足小于1μm的需求。同時，所有結(jié)果的峰值偏移都在±1μm以內(nèi)，同樣也滿足最初的精度需求。綜上所述，該系統(tǒng)重復(fù)測量結(jié)果精度都穩(wěn)定在±1μm以內(nèi)，滿足細(xì)微電火花機床對工件檢驗精度的需求。
3 與其他細(xì)微精加工中常用測量機器的對比
在微米精加工過程中不同的檢測機器被使用，為了與這些常用機械進(jìn)行對比，設(shè)計了一系列的實驗來對比它們的精度。
3．1 手動式測量方法
3．1．1 投影儀
這一類測量機器利用光學(xué)衍射原理在被測工件背面投射背景光，并使用高倍放大鏡頭進(jìn)行接收放大后投射在觀測屏上。由于此種測量方式受人為影響較大，為了確定人為因素對最后結(jié)果精確度影響的程度，我們設(shè)計了如下實驗：一個寬10 mm的標(biāo)準(zhǔn)工件被用作待測工件，在投影儀的觀測屏上可以看到一個XY方向的基準(zhǔn)線，測量過程中我們需要用人眼判斷出Y軸方向上基準(zhǔn)線和工件邊緣的最佳吻合處。當(dāng)確定位置后按下與投影儀相連用來讀取位置儀器上的按鈕，定義此處為(X，Y)=(0，0)點，然后轉(zhuǎn)動放著工件的托盤沿著X軸移動到此工件的另一邊緣，用同樣的方法記錄下另一邊緣處同一X方向上的另一點。此時可從儀器上讀取兩點間的距離，即為此標(biāo)準(zhǔn)工件兩邊緣間的間距。同樣的實驗被獨立重復(fù)50次。
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