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基于SOI高壓集成技術的電平位移電路設計

作者: 時間:2011-08-26 來源:網(wǎng)絡 收藏
針對nLDMOS器件開態(tài)耐壓低的問題,有針對性地仿真了溝道長度、多晶硅柵場板長度及體區(qū)濃度對開態(tài)耐壓的影響。圖5(a)為nLDMOS的關態(tài)耐壓、開態(tài)耐壓及閾值與溝道長度(Lch)的關系??梢钥闯鰷系篱L度對器件的開態(tài)耐壓和關態(tài)耐壓影響很小。閾值隨著溝道長度的增加而增加,這是由于采用橫向雙擴散形成溝道,所以隨著溝道長度增加,p型體區(qū)的濃度越來越大,閾值也就越來越大。圖5(b)為nLDMOS的關態(tài)耐壓、開態(tài)耐壓及閾值與多晶硅柵極場板長度(LPgate)的關系。在柵極場板較長時,其對閾值和關態(tài)耐壓影響很小,當柵極場板縮短到多晶硅柵不能覆蓋溝道時,器件的開態(tài)耐壓大幅增加。這時閾值也迅速增加。雖然多晶硅柵不能完全覆蓋溝道,但是由于開態(tài)時nLDMOS的柵漏電壓差很大,所以仍然能夠在表面形成反型層溝道。因此,大幅減短柵極場板能有效提高器件的開態(tài)耐壓,但是同時也帶來了器件不能有效開啟的問題。圖5(c)為nLDMOS的關態(tài)耐壓、開態(tài)耐壓及閾值與體區(qū)注入劑量(Pbody)的關系??梢钥闯鲈黾芋w區(qū)的注入劑量對器件的耐壓影響很小。但是隨著注入劑量的增加,體區(qū)濃度增加,所以閾值就增加,同時器件的開態(tài)耐壓也隨之增加。當體區(qū)注入劑量達到5e14cm-2時,閾值增加緩慢,開態(tài)耐壓卻大幅增加,所以只能通過閾值上的犧牲來改善nLDMOS的開態(tài)擊穿耐壓。

本文引用地址:http://m.butianyuan.cn/article/178691.htm

  

  通過以上分析,發(fā)現(xiàn)提高nLDMOS的開態(tài)擊穿電壓最有效的方法是縮短柵極場板和提高體區(qū)注入劑量。這二種方法的實質(zhì)提高導通阻抗或降低電流能力。但是對于普通應用的nLDMOS,電流能力本身就比pLDMOS有優(yōu)勢。當應用到負電源電路中時,厚柵氧高柵源電壓使得nLDMOS的電流能力更加突出,但是同時也導致了開態(tài)耐壓的降低。所以提高nLDMOS開態(tài)擊穿電壓就必須降低其電流能力。如圖6所示,在nLD-MOS正常工作時,源端的電壓為-100V,此時飽和電流相差0.05mA/μm。

  

  在縮短柵極場板到1μm,提高體區(qū)注入劑量到5e14 cm-2的情況下,在得到nLDMOS的閾值電壓為24V,關態(tài)擊穿電壓215V,開態(tài)擊穿電壓140V,能夠滿足-100V電壓的應用要求。

  3 結束語

  本文設計一種應用于8~-100V電源的電路。通過在常規(guī)正電源電路的基礎上改變低壓控制方式來實現(xiàn)從0~8V低壓邏輯輸入到8~-100V驅(qū)動輸出的轉換。此電路結構設計了滿足電路應用需求的器件。并對LDMOS進行了優(yōu)化設計,尤其是高壓nLDMOS的開態(tài)耐壓。得到高壓nLDMOS的關態(tài)擊穿電壓215V,開態(tài)擊穿電壓140V,閾值電壓24V;高壓pLDMOS的關態(tài)擊穿電壓200V,開態(tài)擊穿電壓160V,閾值電壓-1V。


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