疊柵MOSFETs的結(jié)構(gòu)設(shè)計與研究
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2 特性模擬
2．1 閾值電壓特性
首先，我們用模擬軟件MEDICI仿真了疊柵MOSFET與單柵MOSFET的閾值電壓，對仿真結(jié)果做比較，將不同溝道長度閾值電壓特性以及閾值電壓的變化率展現(xiàn)出來。所用的兩種結(jié)構(gòu)除了柵結(jié)構(gòu)不同外，其它參數(shù)都相同(如溝道摻雜情況、源漏情況、溝長等)。具體摻雜數(shù)值如表1，
為了仿真其閾值電壓特性，接法上將源端、襯底接地，漏端加一個較小電壓VDS=0．10V，單柵氧化層厚度tox=2．0×10-6cm，疊柵的兩個柵氧化層厚度都是tox=2．0×10-6cm。仿真結(jié)果如圖2所示。
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