激光微加工系統(tǒng)及基于DSP+FPGA的控制單元的研究
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在經(jīng)過對上面兩個誤差的修正后，選用硅（100）進(jìn)行了部分微加工的實驗。通過光學(xué)顯微鏡對結(jié)果進(jìn)行觀測可知，系統(tǒng)實現(xiàn)了較好的微加工效果。在空氣環(huán)境下，采用20 kHz的激光頻率，獲得激光輸出能量為150 μJ，在2 mm/s的運動速度下加工出微六邊形，如圖6所示。本文引用地址：http://m.butianyuan.cn/article/191783.htm
為了滿足微加工的需要，設(shè)計了納秒脈沖激光微加工系統(tǒng)，尤其是實現(xiàn)了具有圖形解析和高速數(shù)據(jù)處理功能的控制單元，解決了現(xiàn)有設(shè)備的關(guān)鍵問題，使加工系統(tǒng)在操作性和精度上都有很大提升，為下一步工作的展開奠定了良好的基礎(chǔ)。
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