光柵與編碼器介紹
位置檢測裝置作為數(shù)控機床的重要組成部分,其作用就是檢測位移量,并發(fā)出反饋信號與數(shù)控裝置發(fā)出的指令信號相比較,若有偏差,經(jīng)放大后控制執(zhí)行部件使其向著消除偏差的方向運動,直至偏差等于零為止。為了提高數(shù)控機床的加工精度,必須提高檢測元件和檢測系統(tǒng)的精度。其中以編碼器,光柵尺,旋轉(zhuǎn)變壓器,測速發(fā)電機等比較普遍,下面主要對光柵和編碼器進行說明。
光柵,現(xiàn)代光柵測量技術(shù)
簡要介紹:
將光源、兩塊長光柵(動尺和定尺)、光電檢測器件等組合在一起構(gòu)成的光柵傳感器通常稱為光柵尺。光柵尺輸出的是電信號,動尺移動一個柵距,輸出電信號便變化一個周期,它是通過對信號變化周期的測量來測出動就與定就職相對位移。目前使用的光柵尺的輸出信號一般有兩種形式,一是相位角相差90度的2路方波信號,二是相位依次相差90度的4路正弦信號。這些信號的空間位置周期為W。下面針對輸出方波信號的光柵尺進行了討論,而對于輸出正弦波信號的光柵尺,經(jīng)過整形可變?yōu)榉讲ㄐ盘栞敵觥]敵龇讲ǖ墓鈻懦哂蠥相、B相和Z相三個電信號,A相信號為主信號,B相為副信號,兩個信號周期相同,均為W,相位差90o。Z信號可以作為較準(zhǔn)信號以消除累積誤差。
一、柵式測量系統(tǒng)簡述
從上個世紀(jì)50年代到70年代柵式測量系統(tǒng)從感應(yīng)同步器發(fā)展到光柵、磁柵、容柵和球柵,這5種測量系統(tǒng)都是將一個柵距周期內(nèi)的絕對式測量和周期外的增量式測量結(jié)合了起來,測量單位不是像激光一樣的是光波波長,而是通用的米制(或英制)標(biāo)尺。它們有各自的優(yōu)勢,相互補充,在競爭中都得到了發(fā)展。由于光柵測量系統(tǒng)的綜合技術(shù)性能優(yōu)于其他4種,而且制造費用又比感應(yīng)同步器、磁柵、球柵低,因此光柵發(fā)展得最快,技術(shù)性能最高,市場占有率最高,產(chǎn)業(yè)最大。光柵在柵式測量系統(tǒng)中的占有率已超過80%,光柵長度測量系統(tǒng)的分辨力已覆蓋微米級、亞微米級和納米級,測量速度從60m/min,到480m/min。測量長度從1m、3m達(dá)到30m和100m。
二、光柵測量技術(shù)發(fā)展的回顧
計量光柵技術(shù)的基礎(chǔ)是莫爾條紋(Moire fringes),1874年由英國物理學(xué)家L.Rayleigh首先提出這種圖案的工程價值,直到20世紀(jì)50年代人們才開始利用光柵的莫爾條紋進行精密測量。1950年德國Heidenhain首創(chuàng)DIADUR復(fù)制工藝,也就是在玻璃基板上蒸發(fā)鍍鉻的光刻復(fù)制工藝,這才能制造高精度、價廉的光柵刻度尺,光柵計量儀器才能為用戶所接受,進入商品市場。1953年英國Ferranti公司提出了一個4相信號系統(tǒng),可以在一個莫爾條紋周期實現(xiàn)4倍頻細(xì)分,并能鑒別移動方向,這就是4倍頻鑒相技術(shù),是光柵測量系統(tǒng)的基礎(chǔ),并一直廣泛應(yīng)用至今。
德國Heidenhain公司1961年開始開發(fā)光柵尺和圓柵編碼器,并制造出柵距為4μm(250線/mm)的光柵尺和10000線/轉(zhuǎn)的圓光柵測量系統(tǒng),能實現(xiàn)1微米和1角秒的測量分辨力。1966年制造出了柵距為20μm(50線/mm)的封閉式直線光柵編碼器。在80年代又推出AURODUR工藝,是在鋼基材料上制作高反射率的金屬線紋反射光柵。并在光柵一個參考標(biāo)記(零位)的基礎(chǔ)上增加了距離編碼。在1987年又提出一種新的干涉原理,采用衍射光柵實現(xiàn)納米級的測量,并允許較寬松的安裝。1997年推出用于絕對編碼器的EnDat雙向串行快速連續(xù)接口,使絕對編碼器和增量編碼器一樣很方便的應(yīng)用于測量系統(tǒng)。現(xiàn)在光柵測量系統(tǒng)已十分完善,應(yīng)用的領(lǐng)域很廣泛,全世界光柵直線傳感器的年產(chǎn)量在60萬件左右,其中封閉式光柵尺約占85%,開啟式光柵尺約占15%。
三、當(dāng)今采用的光電掃描原理及其產(chǎn)品系列
光柵根據(jù)形成莫爾條紋的原理不同分為幾何光柵(幅值光柵)和衍射光柵(相位光柵),又可根據(jù)光路的不同分為透射光柵和反射光柵。光米級和亞微米級的光柵測量是采用幾何光柵,光柵柵距為100μm至20μm遠(yuǎn)于光源光波波長,衍射現(xiàn)象可以忽略,當(dāng)兩塊光柵相對移動時產(chǎn)生低頻拍現(xiàn)象形成莫爾條紋,其測量原理稱影像原理。納米級的光柵測量是采用衍射光柵,光柵柵距是8μm或4μm,柵線的寬度與光的波長很接近,則產(chǎn)生衍射和干涉現(xiàn)象形成莫爾條紋,其測量原理稱干涉原理?,F(xiàn)以Heidenhain產(chǎn)品采用的3種測量原理介紹如下。
1.具有四場掃描的影像測量原理(透射法)
采用垂直入射光學(xué)系統(tǒng)均為4相信號系統(tǒng),是將指示光柵(掃描掩膜)開四個窗口分為4相,每相柵線依次錯位四分之一柵距,在接收的4個光電元件上可得到理想的4相信號,這稱為具有四場掃描的影像測量原理。Heidenhain的LS系列產(chǎn)品均采用此原理,其柵距為20μm,測量步距為0.5μm,準(zhǔn)確度為±10、±5、±3μm三種,最大測量長度3m,載體為玻璃。
2.有準(zhǔn)單場掃描的影像測量原理(反射法)
反射標(biāo)尺光柵是采用40μm柵距的鋼帶,指示光柵(掃描掩膜)用二個相互交錯并有不同衍射性能的相位光柵組成,這樣一來,一個掃描場就可以產(chǎn)生相移為四分之一柵距的四個圖象,稱此原理為準(zhǔn)單場掃描的影象測量原理。由于只用一個掃描場,標(biāo)尺光柵局部的污染使光場強度的變化是均勻的,并對四個光電接收元件的影響是相同的,因此不會影響光柵信號的質(zhì)量。與此同時,指示光柵和標(biāo)尺光柵的間隙和間隙公差能大一些。Heidenhain LB和LIDA系列的金屬反射光柵就是采用這一原理。LIDA系列開式光柵其柵距為40μm和20μm,測量步距0.1μm,準(zhǔn)確度有±5μm、±3μm,測量長度可達(dá)30m,最大速度480m/min。LB系列閉式光柵柵距都是40μm,最大速度可達(dá)120m/min。
評論