Fourier變換輪廓術(shù)中參數(shù)的選擇和優(yōu)化研究
為了進(jìn)一步說(shuō)明經(jīng)參數(shù)選擇和優(yōu)化的優(yōu)越性,在標(biāo)定的基礎(chǔ)上得出以下的誤差圖:標(biāo)定行程為10 cm,步進(jìn)電機(jī)攜標(biāo)定板每次移動(dòng)10 mm,這樣在10 cm的行程中總共采集11組圖片,分別為50,40,30,20,10,O,一10,一20,一30,一40,一50(mm)。選取10 mm處的圖片進(jìn)行分析,可得到如圖13所示的標(biāo)準(zhǔn)差圖,從圖中發(fā)現(xiàn),實(shí)際高度為10 mm的平面,在測(cè)量下其高度分布在9.97~10.005 mm之間,其誤差在0.03 mm以內(nèi)。實(shí)驗(yàn)測(cè)得標(biāo)準(zhǔn)差為0.022 5 mm。
4 結(jié) 語(yǔ)
在參數(shù)選擇和優(yōu)化過(guò)程中,需注意夾角越大測(cè)量精度越高,但是夾角過(guò)大,會(huì)使得視場(chǎng)變小,視場(chǎng)變小會(huì)影響測(cè)量范圍,增大誤差,因此需壓縮夾角。經(jīng)過(guò)多次試驗(yàn),夾角在20°~30°效果最好,精度最高;利用等效波長(zhǎng)的概念,壓縮夾角,提高投影光柵的空間頻率,這樣既可以保證系統(tǒng)的測(cè)量精度,又可以保證系統(tǒng)的視場(chǎng)范圍。同時(shí),進(jìn)行空間帶寬積的合理選擇,以及濾波、相位展開等處理,進(jìn)一步提高了FTP的測(cè)量范圍的同時(shí),系統(tǒng)的測(cè)量精度也得到了保證,達(dá)到兩全其美的效果。
評(píng)論