摻硼p+-Si外延層厚度的測試方法
加入技術(shù)交流群
(4)用水將樣品沖洗干凈。
4測試過程
(1)將待測樣品與載片塊貼在一起放到金相顯微鏡的載物臺上，樣品斷面垂直于物鏡。圖2(a)給出了樣品斷面腐蝕前正面觀察示意圖。圖2(b)給出樣品斷面腐蝕后側(cè)面觀察示意圖。
(2)調(diào)節(jié)金相顯微鏡，直到目鏡中出現(xiàn)如圖3所示的外延層與襯底的界面。
(3)轉(zhuǎn)動金相顯微鏡測微尺中的標線，直到目鏡中的標線與外延層的一邊重合，此時將顯示表讀數(shù)復(fù)位。
(4)再次轉(zhuǎn)動金相顯微鏡測微尺中的標線，直到目鏡中的標線與外延層的另外一邊重合，此時顯示表上的讀數(shù)即為外延層的厚度。
5結(jié)果分析
采用上述方法本文對幾種厚度的樣品進行了測量。結(jié)果表明，該方法具有一定的準確度，表1給出了采用磨角染色法測量的外延層厚度與采用本方法測量的結(jié)果對比。
從表1可以看出，采用該方法進行外延層厚度測量時，測量結(jié)果與采用磨角染色法測量的外延層厚度的結(jié)果比較吻合。
在樣品腐蝕過程中，由于樣品的斷面為<110>晶向，因此，襯底層斷面的腐蝕速率很快，通常在較短的時間內(nèi)即腐蝕出臺階。
6結(jié)論
與磨角染色法相比，本文所提出的p+-Si外延層厚度的測量方法簡單易行，可以測量p+／p結(jié)構(gòu)的外延層厚度，且該方法具有一定的準確度。該方法可以作為外延工藝的檢測手段，以加強對外延過程的監(jiān)控；并且該方法僅適用于高濃度摻雜的p型外延層厚度的測量，B摻雜的濃度不小于5×1019cm-3。
評論