激光測量在數控機床定位中的應用
1.測量隱理
由激光頭激光諧振腔發(fā)出的He一Ne激光束,經激光偏轉控制系統(tǒng)分裂為頻率分別為f1和f2的線偏振光束,經取樣系統(tǒng)分離出一小部分光束被光電檢測器接收作為參考訊號,其余光束經回轉光學系統(tǒng)放大和準直,被干涉鏡接收反射到光電檢測器上。機床運動使干涉鏡和反射鏡之間發(fā)生相對位移,兩束光發(fā)生多普勒效應,產生多普勒頻移±Δf。光電檢測器接收到的頻率訊號(f1-f2±Δf)和參考訊號(f1-f2)被送到測量顯示器,經頻率放大、脈沖計數,送人數字總線,最后經數據處理系統(tǒng)進行處理,得到所測量的位移量,即可評定數控機床的定位精度。
2.測量方法 (1)安裝雙頻激光干涉儀測量系統(tǒng)各組件(如圖1所示)。
(2)在需測量的機床坐標軸線方向安裝光學測量裝置。典型的安裝如圖2所示:
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