用激光平面千涉儀測量光學(xué)平板玻璃的平行差

　　利用平板玻璃自身的千涉條紋來判斷平板玻璃的薄厚端

　　由于等厚干涉條紋所對應(yīng)的光程差，完全是由厚度所決定的，而同一條干涉條紋對應(yīng)同一光程差數(shù)值，也就是對應(yīng)被測玻璃板同一厚度的地方，所以等厚干涉條紋可以看成是被測玻璃板的等厚線。很顯然，當(dāng)玻璃兩表面度良好時，等厚干涉條紋的方向是與兩表面相交梭線平行的

　　圖5示出了干涉條紋密集的一端是平板玻璃的厚端，而干涉條紋光帶寬的一端為薄端。不同厚度的地方有不同的光程差。而當(dāng)兩表面是低光圈時，光圈心向的方向為薄端，背向的地方為厚端，見圖6。其因為低光圈時，兩面的干涉條紋都向薄的地方偏向，所以出現(xiàn)了心薄的現(xiàn)象。

　　如果兩表面均為高光圈或偏高時，其結(jié)果正好相反，即心向的方向為厚端，背向之為薄端，見圖7。

　　以上幾種情況還可以此類推來判斷各種類型的薄厚端。

　　用激光平面干涉儀檢驗成盤平板玻璃的平行差

　　1.對采用在光膠墊板上加工平行平板玻璃，測量時，如果光學(xué)墊板的平行差較高，則可直接觀察光學(xué)墊板和平板玻璃自身的干涉條紋，與單塊平板玻璃同樣對待。因為零件的底面和墊板上表面是由光膠而重合為一體，所以就很容易根據(jù)自身條紋來判斷平行差大小和薄厚端。

　　2.但有時光學(xué)墊板本身平行差就低，此時我們可以采取給墊板背面涂上一層洋干漆的方法，來阻止墊板底面反射象的出現(xiàn)，只剩下墊板的上表面與零件的上表面反射象，先用單管測角儀測出兩象分開的大小，并且墊板象在那邊那邊厚，因為第生面反射回的象是偏向厚的一方。當(dāng)用單管測角儀觀察兩象完全重合時，這只能斷定平行差達(dá)到了6”。如果需要更高精度時，人眼已無法區(qū)別，此時就需采用激光平面干涉儀來測定。

　　3.使用激光平面干涉儀測定成盤玻璃的平行差時，是利用墊板的上表面和玻璃上表面，采取比較干涉法來測定。