晶圓廠“綠色化”需要供應(yīng)鏈的緊密合作

　　在1月31日舉行的SEMICONKorea的EHSForum(環(huán)境、健康與安全論壇)上，來自SamsungElectronics、HynixSemiconductor、TI、AppliedMaterials、TEL等廠商的演講者紛紛就節(jié)能減排戰(zhàn)略、機(jī)會(huì)以及挑戰(zhàn)等議題發(fā)表了自己獨(dú)到的見解，并指出顯著降低晶圓廠能耗以及溫室氣體排放需要芯片制造商、設(shè)備供應(yīng)商以及子系統(tǒng)供應(yīng)商之間的緊密合作。

　　三星的SangYoonJung介紹了三星在降低溫室氣體排放方面的企業(yè)使命以及韓國政府對(duì)抗氣候變化的承諾。溫室氣體排放物質(zhì)主要包括全氟化碳(perfluorocarbons)、三氟甲烷(CHF3)、三氟化氮(NF3)以及六氟化硫(SF6)——總稱為全氟化合物(PFCs)。SangYoonJung先生表示，盡管當(dāng)前半導(dǎo)體制造業(yè)僅占韓國溫室氣體排放量的3%，但這一行業(yè)正在快速成長。他強(qiáng)調(diào)了韓國政府的政策與目標(biāo)，還深入總結(jié)了三星的PFC減排戰(zhàn)略，包括使用替代氣體、廢氣處理計(jì)劃(PFC轉(zhuǎn)換或降解)以及工藝優(yōu)化。世界半導(dǎo)體委員會(huì)(WorldSeminconductorCouncil)已承諾在2010年前將PFC排放量降低至其1995年基準(zhǔn)線的90%的水平。三星自2007年起已成功替換其80%的PFC氣體，并改進(jìn)消除效率至90%以上。

　　三星當(dāng)前正在實(shí)施一項(xiàng)“綠色設(shè)計(jì)”計(jì)劃，該計(jì)劃旨在通過廢棄熱能回收、設(shè)施改進(jìn)和采用高能效設(shè)備，使公司新的晶圓廠能源使用量降低30%。SangYoonJung強(qiáng)調(diào)了供應(yīng)鏈合作的必要性，并敦促設(shè)備制造商在提高能效和減低PFC排放方面做出更多努力。

　　海力士半導(dǎo)體的SeoulJongKo介紹了公司的清潔發(fā)展機(jī)制(CDM)計(jì)劃，該計(jì)劃在世界同類項(xiàng)目中尚屬首例。CDM是《東京議定書》中旨在幫助工業(yè)化國家達(dá)到其溫室氣體減排目標(biāo)的一項(xiàng)機(jī)制。該機(jī)制允許擁有溫室氣體減排目標(biāo)的國家的公共或私人實(shí)體在發(fā)展中國家投資溫室氣體減排項(xiàng)目，這些項(xiàng)目產(chǎn)生的溫室氣體減排量(即“經(jīng)核準(zhǔn)的減排量”，CER)可以作為前者履行其所承諾的限排或減排量，或出售給其它感興趣的團(tuán)體。

　　來自TEL的ShigeitoIbuka全面介紹了TEL的環(huán)境項(xiàng)目。這些項(xiàng)目已得到了日經(jīng)環(huán)境管理調(diào)查(NikkeiEnvironmentalManagementSurvey)等的廣泛認(rèn)可。TEL的節(jié)能行動(dòng)已將每晶圓面積的能源使用量降低至僅2000年水平的35%。

　　來自CleanSystemsKorea的SangJunLee亦指出了知識(shí)產(chǎn)權(quán)因素對(duì)協(xié)調(diào)工藝、設(shè)備和廢氣處理系統(tǒng)以提高能效帶來的困難。他建議成立一個(gè)研究團(tuán)體或工作委員會(huì)來探尋在不損害專利訴求的前提下優(yōu)化能效的方法。

　　AppliedMaterials公司副總裁NormArmour介紹了公司廣泛開展的可持續(xù)發(fā)展項(xiàng)目，并概括了高科技在全球氣候變化方面所扮演的重要角色。該公司在光伏、燃料電池、固態(tài)照明等可再生能源領(lǐng)域的業(yè)務(wù)獲得了快速成長，此外還創(chuàng)立了一套自我發(fā)展方法——DesignforEnvironment(DfE)，并將其應(yīng)用于公司所有產(chǎn)品的整個(gè)產(chǎn)品生命周期。DfE包括在籌劃、設(shè)計(jì)和預(yù)算方面為新產(chǎn)品和已有產(chǎn)品進(jìn)行能效設(shè)計(jì)和應(yīng)用、資源保護(hù)、回收等考慮。

　　在減少PFC排放方面，AppliedMaterials也執(zhí)行了“優(yōu)化-替代-廢棄(Optimize-Substitute-Abate)”的戰(zhàn)略。該公司采用了包括遠(yuǎn)程清潔、反應(yīng)腔診斷、高效冷卻與熱交換設(shè)備和新化學(xué)物質(zhì)合成在內(nèi)的諸多新技術(shù)，以降低PFC的消耗量。該公司提供一系列廢棄物處理系統(tǒng)并深信作為一家全系列設(shè)備供應(yīng)商，公司能夠通過整合工藝設(shè)計(jì)改進(jìn)能源使用效率。

　　德州儀器的TimYeakley先生的發(fā)言為論壇一天的演講畫上了句號(hào)。他介紹了德儀在可持續(xù)發(fā)展和GHG減排項(xiàng)目方面取得的巨大成功。德儀成立了數(shù)個(gè)小組解決公司各個(gè)方面的能源使用問題。從2002年至今，德州儀器已經(jīng)完成了37個(gè)此類項(xiàng)目，每天項(xiàng)目的平均回報(bào)期僅為1.3年。德儀采取了一系列行動(dòng)，包括冷卻裝置優(yōu)化、變頻驅(qū)動(dòng)、泵浦替代、廢棄物和廢水回收、POU冷卻器替代等，以達(dá)到WSC的PFC減排目標(biāo)。該公司當(dāng)前正在采用諸如空閑模式協(xié)議、高效泵浦和使用點(diǎn)廢棄物處理效率等技術(shù)來降低能耗。