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美泰電子RF MEMS 器件

發(fā)布人:傳感器技術(shù) 時(shí)間:2023-03-26 來(lái)源:工程師 發(fā)布文章

美泰電子科技有限公司

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美泰電子科技有限公司是中國(guó)MEMS行業(yè)協(xié)會(huì)理事長(zhǎng)單位。專(zhuān)門(mén)致力于MEMS(微電子機(jī)械系統(tǒng))器件與系統(tǒng)的研發(fā)、生產(chǎn)和銷(xiāo)售。是國(guó)內(nèi)最大的MEMS高端核心芯片、器件和系統(tǒng)產(chǎn)品供應(yīng)商,中國(guó)MEMS技術(shù)領(lǐng)導(dǎo)者。主要產(chǎn)品有MEMS慣性器件與系統(tǒng)、MEMS測(cè)試測(cè)量傳感器、MEMS壓力傳感器芯片、汽車(chē)MEMS傳感器、射頻(RF)MEMS器件、光MEMS器件等。      
    

公司擁有國(guó)際先進(jìn)水平的6英寸MEMS工藝線和世界領(lǐng)先的產(chǎn)品測(cè)試標(biāo)定設(shè)備,是國(guó)家高新技術(shù)企業(yè)、科技部重大科學(xué)儀器專(zhuān)項(xiàng)資助單位。


RF MEMS 器件

全球首家推出采用高精度微納立體加工、硅圓片直接鍵合、TSV(硅通孔)等MEMS技術(shù)制作的新一代硅腔濾波器芯片,擁有超小體積與重量、多層全屏蔽、抗干擾卓越的微波性能,低損耗、高抑制、為微波毫米波系統(tǒng)小型化提供了新選擇。產(chǎn)品頻率范圍覆蓋2~50GHz,具有帶通、帶阻、窄帶、寬帶、超寬帶多個(gè)系列。廣泛應(yīng)用于雷達(dá)、微波通訊、電子系統(tǒng)等領(lǐng)域。


1、MEMS 環(huán)行器

 

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特點(diǎn)

硅腔體結(jié)構(gòu),體積超小
高功率容量

50Ω微帶共面波導(dǎo)輸出,鍵合使用

頻率:12~40GHz
MEMS工藝,精度高,一致性好
可按要求加工定制
 

環(huán)境參數(shù)

工作溫度:-55~+85°C

儲(chǔ)存溫度:-55~+125°C


典型應(yīng)用

雷達(dá)、航天航空、微波通信


2、MEMS 隔離器

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特點(diǎn):

硅腔體結(jié)構(gòu),體積超小
高功率容量

50Ω微帶/共面波導(dǎo)輸出,鍵合使用
頻率:12~40GHz

MEMS工藝,精度高,一致性好
可按要求加工定制


環(huán)境參數(shù)
工作溫度:-55+85°C

儲(chǔ)存溫度:-55+125°C

典型應(yīng)用
雷達(dá)、航天航空,微波通信 


3、MEMS 硅腔濾波器

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特點(diǎn):
硅基MEMS工藝,體積小、重量輕

頻率:2~50GHz

高性能、全屏廠、抗干擾、微波性能好

裸芯片,50Ω共面波導(dǎo)輸出,鍵合使用

帶通、帶阻、低通、高通
指標(biāo)一致性好,適合批產(chǎn)


環(huán)境參數(shù)
工作溫度:-55~+85°C
貯存溫度:-55~+125°C

平均功率:≤3W(連續(xù)波)


典型應(yīng)用
雷達(dá)、航天航空,電子系統(tǒng)


4、微集成 LC 濾波器

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特點(diǎn):

硅基MEMS微納米技術(shù)
命體積小、成本低
加厚介質(zhì)膜工藝,防靜電能力強(qiáng)、可靠性高

可鍵合、表貼使用,滿足用戶不同安裝要求
加工周期短,部分取代LTCC產(chǎn)品
較MMIC產(chǎn)品有更高Q值 


環(huán)境參數(shù)
工作溫度:-55~+85°C
貯存溫度:-55~+125°C
平均功率:1Wmax@25°C
 
電性能規(guī)范
中心頻率:0.5-20GHz
健合型微集成LC法
1db分?jǐn)?shù)帶寬:10-100%
VSWR: 16.1 :1
特性阻抗:50Ω


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