基于傳感器和放大電路分離技術(shù)的環(huán)境壓力檢測(cè)設(shè)計(jì)

2. 3 　模型識(shí)別

基于上述思想，若已知輸入、輸出信號(hào)， 可通過(guò)曲線擬合及線性回歸法得出RC。對(duì)式(3) 進(jìn)行擬合，在擬合過(guò)程中， 加入一定的白噪聲。若R = 1000 Ω，電容C = 50 p F ，則擬合曲線如圖4 所示。

擬合參數(shù)最大時(shí)為5. 037 ×10 - 8 ，最大相對(duì)誤差為0. 78 %。當(dāng)溫度變化時(shí)，金屬鉑電阻值發(fā)生變化，在不同的溫度下擬合的電容值和溫度的關(guān)系如表1 所示(加入1 %的白噪聲) 。

從表1 可見(jiàn)，擬合的電容誤差小于1 %。由此可見(jiàn)，在不同的時(shí)刻測(cè)得UO ( t) ，通過(guò)曲線擬合得出參數(shù)RC。再給電路加小信號(hào)直流電源，測(cè)出R 值，即求得C ，通過(guò)C 值則可知被測(cè)環(huán)境的壓力。

圖5為350 ℃時(shí)，不同的壓力所對(duì)應(yīng)的電容的理論值和實(shí)驗(yàn)值，從實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)(表2) 可得，在測(cè)壓的過(guò)程中，利用模型識(shí)別的方法，誤差較小，其測(cè)壓誤差小于2 %。

3 　結(jié)束語(yǔ)

基于模型識(shí)別技術(shù)的高溫微型壓力傳感器電路簡(jiǎn)單、工藝成本較低、體積小、可批量生產(chǎn)、準(zhǔn)確度高。

該傳感器避免了電阻式高溫壓力傳感器的自補(bǔ)償電路在高溫環(huán)境下工作時(shí)熱靈敏度漂移引起的誤差，也避免了其它電容式高溫壓力傳感器非線性補(bǔ)償電路在高溫環(huán)境下工作。該傳感器適合在各種高溫環(huán)境下測(cè)量氣體或液體的壓力。