透射電子顯微鏡的結(jié)構(gòu)與成像原理介紹

圖2-3 照明系統(tǒng)光路圖
2.1.2 成像系統(tǒng)
由物鏡、物鏡光欄、選區(qū)光欄、中間鏡（1、2）和投影鏡組成.

1） 物鏡：強(qiáng)勵(lì)磁短焦透鏡（f=1-3mm）,放大倍數(shù)100—300倍。
作用：形成第一幅放大像
2） 物鏡光欄：裝在物鏡背焦面，直徑20—120um，無磁金屬制成。
作用：a.提高像襯度，b.減小孔經(jīng)角，從而減小像差。C.進(jìn)行暗場成像
3） 選區(qū)光欄：裝在物鏡像平面上，直徑20-400um，
作用：對(duì)樣品進(jìn)行微區(qū)衍射分析。
4） 中間鏡：弱壓短透鏡，長焦，放大倍數(shù)可調(diào)節(jié)0—20倍
作用a.控制電鏡總放大倍數(shù)。B.成像/衍射模式選擇。
5） 投影鏡：短焦、強(qiáng)磁透鏡，進(jìn)一步放大中間鏡的像。投影鏡內(nèi)孔徑較小，使電子束進(jìn)入投影鏡孔徑角很小。
小孔徑角有兩個(gè)特點(diǎn)：
a. 景深大，改變中間鏡放大倍數(shù)，使總倍數(shù)變化大，也不影響圖象清晰度。
b. 焦深長，放寬對(duì)熒光屏和底片平面嚴(yán)格位置要求。
注意：有些電鏡還裝有附加投影鏡，用以自動(dòng)校正磁轉(zhuǎn)角。
2.1.3 觀察記錄系統(tǒng)
觀察和記錄系統(tǒng)包括熒光屏和照相機(jī)構(gòu)。熒光屏涂有在暗室操作條件下，人眼較敏感、發(fā)綠光的熒光物質(zhì)，有利于高放大倍數(shù)、低亮度圖像的聚集和觀察。 照相機(jī)構(gòu)是一個(gè)裝在熒光屏下面，可以自動(dòng)換片的照相暗盒。膠片是一種對(duì)電子束曝光敏感、顆粒度很小的溴化物乳膠底片，為紅色盲片，曝光時(shí)間很短，一般只需幾秒鐘。新型電鏡均采用電磁快門，與熒光屏聯(lián)動(dòng)。有的裝有自動(dòng)曝光裝置。現(xiàn)代電鏡已開始裝有電子數(shù)碼照相裝置，即CCD相機(jī)。