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解析質(zhì)檢儀的光電讀出原理

作者: 時間:2013-11-29 來源:網(wǎng)絡(luò) 收藏
現(xiàn)以測定顯微物鏡光軸與物鏡螺紋軸線的同軸度為例,說明儀器的讀出原理。

  如圖2所示,AA‘為顯微鏡的正確軸線(光軸與機械軸重臺),A與A’是物像共軛點,設(shè)物面標(biāo)志物為一個中心位于A的小圓孔,當(dāng)顯微鏡使用過程中,物鏡中心0產(chǎn)生了一個∠的橫向位移時,則A點的像將由A‘移到A“,即像方產(chǎn)生∠’的位移,∠‘泌=s’/s=卩,卩為顯微物鏡的橫向放大倍數(shù)。若在像平面上放置四象限硅池,如圖2所示,由于圓形像光斑中心的偏移,則破壞了原來池四部分輸出的平行狀態(tài),將四部分輸出信號經(jīng)過前置放大(PM)后,按下列規(guī)則進(jìn)行邏輯運算:

  解析質(zhì)檢儀的光電讀出原理

  圖1 光學(xué)原理圖

  值得強調(diào)指出,上述的“除法器”是針對鑒定后在使用過程中發(fā)現(xiàn)的不足而實施的重要改進(jìn)。除法器的功能在于消除由于電網(wǎng)波動及環(huán)境因素所引起的誤差,并使信號輸出與入射光強無關(guān),便于定標(biāo)。

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關(guān)鍵詞: 質(zhì)檢儀 光電

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