熱電耦加速度傳感器的頻率補(bǔ)償

熱電耦式加速度傳感器的頻響是由其內(nèi)部所用氣體的物理特性熱對流原理以及傳感器電子學(xué)所決定的由于MEMSIC在大批量生產(chǎn)中所使用的氣體的特性完全一致所以可以用一個簡單的電路來對所有器件進(jìn)行相同的補(bǔ)償對于大多數(shù)應(yīng)用來說不需要因?yàn)槠骷牟煌鴮ρa(bǔ)償電路進(jìn)行調(diào)整