集成電路生產(chǎn)過程中檢測和描述射頻濾波器特性的新方法

信號產(chǎn)生后的下一步是測量。為了方便比較，采樣的點數(shù)和采樣頻率應(yīng)與信號生成時一致。圖4顯示了利用單次測量獲取的帶通濾波器的曲線特征。通過使用數(shù)字信號處理器分析該結(jié)果，我們便可以計算出3dB點值。

在完成對所獲取的數(shù)組進行快速傅里葉變換后(如圖5)，濾波器的3dB點值便通過使用數(shù)字信號處理按照以下順序準確地計算出來：

1.取數(shù)組平滑區(qū)段的平均值，這可以確保數(shù)組沒有急劇的變化。

2.將獲取的數(shù)組由伏特轉(zhuǎn)為dBc。

3.在整個數(shù)組中增加3dB值，此時，-3dB點的數(shù)值變?yōu)?dB。

4.提取具有極小變量的數(shù)組段。

5.對所提取的數(shù)組段進行極值分析，確定低通3dB點的位置。

6.顛倒數(shù)組段，將濾波器的高通部分放置在數(shù)組的起始位置。

7.對顛倒的數(shù)組段進行極值分析，確定高通3dB點的位置。在這里必須記住，這個數(shù)值必須從所有點中減去。

8.通過傅里葉頻率分析法增加數(shù)組的位置，得到的結(jié)果是±3dB點的頻率值。

9.兩個3dB點的頻率值相減就能得到濾波器的帶寬。

如果上述測試方法是可靠的，那么從實驗室獲得的結(jié)果與生產(chǎn)測試人員獲得的結(jié)果之間會有一個確切的相關(guān)性。這里列出的一個例子表明，上限截止頻率的測量結(jié)果一般都穩(wěn)定在84.3kHz，標準偏差為36Hz(如圖6)。

表1表明，實驗結(jié)果和生產(chǎn)測試人員獲得的結(jié)果極其接近。結(jié)合穩(wěn)定性的數(shù)據(jù)，表明上述的測試方案是RF芯片生產(chǎn)測試的理想方法。