半導(dǎo)體薄膜蝕刻液金屬銦回收再利用

平面顯示器大量應(yīng)用于日常生活電子產(chǎn)品，如：TFT-LCD應(yīng)用于筆記型計算機、桌上型計算機、液晶電視或電話手機等；STNLCD則應(yīng)用于尺寸較大的電子字典、電子娛樂產(chǎn)品、PDA、行動電話、低階筆記型計算機等；TNLCD主要應(yīng)用于手表和計算器，使得LCD需求持續(xù)擴增。 

TFT-LCD廠主要制程包含:在玻璃基板上制作薄膜晶體管(Array)制程、液晶灌注面板(Cell)制程及模塊化(Module)制程等三項?！氨∧ぞw管”制程為TFT-LCD最主要技術(shù)，其原理是在玻璃基板上利用導(dǎo)電體涂布、微影照相及曝光顯像等精密技術(shù)，制作電極基板做為傳遞訊號、電壓控制的組件(即薄膜晶體管)。  

其制程是將玻璃基板入料清洗后，涂布“靶材”薄膜，靶材原料為金屬(如鋁、鉻)或半導(dǎo)體薄膜(如ITO)，做為導(dǎo)電電路基材；于薄膜上均勻涂布“光阻”，并利用已微影照相完成的“光罩”進(jìn)行曝光，當(dāng)光阻完成曝光、顯像工程后，即可獲得所需的導(dǎo)電線路；利用“蝕刻液”將不需要的金屬或半導(dǎo)體膜去除，僅留下光阻所保護(hù)的導(dǎo)電線路膜，最后再利用“剝離液”將表面光阻去除后，金屬或半導(dǎo)體導(dǎo)電線路膜即可成型；重復(fù)薄膜形成、光阻涂布、曝光、顯像、蝕刻、光阻剝膜等程序約五至八次(分別針對各層金屬或半導(dǎo)體膜)后，即可完成薄膜晶體管之電極基板(上基板)。  

金益鼎企業(yè)公司表示，半導(dǎo)體薄膜(ITO)蝕刻，大部分以酸性螯合液進(jìn)行，大陸的TFT-LCD廠并未針對此——ITO蝕刻液進(jìn)行回收金屬銦，均排放至廢水處理廠進(jìn)行處理。金益鼎已著手與成功大學(xué)合作，進(jìn)行ITO廢蝕刻液采樣并規(guī)劃進(jìn)行ITO蝕刻液之金屬銦回收，成績顯著，可達(dá)到資源永續(xù)使用的目的。