新型光學加速度傳感器動力學性能設(shè)計

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作者：時間：2007-10-25 來源：傳感器與微系統(tǒng)

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　　引言

　　動力學振動系統(tǒng)是眾多慣性傳感器中的重要組成部分，其參數(shù)的選取決定了傳感器的性能的優(yōu)劣。針對基于菲涅耳衍射微透鏡的新型光學加速度傳感器設(shè)計了一種簡單實用的敏感加速度的振動系統(tǒng)，它是由一個微彈性機械結(jié)構(gòu)連接在外框架上構(gòu)成。微彈性機械結(jié)構(gòu)不僅是微型加速度傳感器重要組成部分，而且，在微型驅(qū)動器、微位移計、微陀螺儀及其他慣性傳感器中也有著重要的應(yīng)用，在微機電系統(tǒng)(MEMS)中發(fā)揮著重要的作用。目前，MEMS中類似于微彈性機械結(jié)構(gòu)的敏感裝置主要有硅懸臂梁、直角彈性結(jié)構(gòu)及結(jié)構(gòu)更復雜的硅彈簧等。微彈性機械結(jié)構(gòu)是在一塊硅片上通過簡單的MEMS工藝加工的，可以通過改變硅片的厚度和彈性臂的寬度來設(shè)計不同的彈性系數(shù)和振動系統(tǒng)的固有頻率，以滿足傳感器的要求。具體討論了微彈性機械結(jié)構(gòu)參數(shù)的選取，并且，模擬分析了傳感器的性能和誤差。

　　1 傳感器動力學系統(tǒng)的工作原理

　　如圖1所示，把一個反光膜平行地置于菲涅耳衍射微透鏡(以下簡稱“微透鏡”)的一側(cè)，固定一個敏感加速度的微質(zhì)量于反光膜后面，光纖端部置于微透鏡的匯聚點處。光的發(fā)射和接收可由同一根光纖來完成，則光纖接收光強的大小隨反光膜位置的變化而改變。因此，通過檢測光纖中接收光強的變化可以獲取反光膜位置的變化。

　　微彈簧一端與反光膜固定連接，另一端固定在傳感器的外框架上，這就形成了一個由微質(zhì)量、反光膜、微彈簧和外框架構(gòu)成的振動系統(tǒng)。

　　把傳感器固定在被測物體上，設(shè)被測物體的振動方程為xs=asinωt，令Y表示反光膜相對于微透鏡的穩(wěn)態(tài)響應(yīng)的振動幅值，則

　　式中a為常數(shù);ω為被測物體的振動頻率;ωn為該振動系統(tǒng)的一階固有頻率;ζ為阻尼比。當ωn》ω時，式(1)可以改寫為

　　式中aω2為被測物體的加速度幅值?？梢娭灰逃蓄l率遠高于被測物體的振動頻率，反光膜與微透鏡間的相對運動的振幅Y正比于被測物體的加速度幅值aω2。而振幅Y可由檢測光纖接收的光強來實現(xiàn)獲取，從而通過檢測光強的變化來實現(xiàn)加速度的測量。

　　2 動力學系統(tǒng)的設(shè)計

　　2.1 結(jié)構(gòu)設(shè)計

　　針對這種新型MEMS光學傳感器對動力學系統(tǒng)的要求，設(shè)計了一種結(jié)構(gòu)簡單實用的一維振動系統(tǒng)，它包含傳感器中的微彈簧、反光膜和微質(zhì)量。它是由一個微彈性機械結(jié)構(gòu)(以下簡稱“微結(jié)構(gòu)”)的4個臂端固定在外框架上構(gòu)成，微結(jié)構(gòu)如圖2(a)所示，它的四周是4個完全相同的彈性臂，相當于傳感器中的微彈簧，單個彈性臂如圖2(b)所示。微結(jié)構(gòu)與微透鏡相鄰的一側(cè)蒸鍍上一層鋁或銀構(gòu)成了傳感器中的反光膜。整個微結(jié)構(gòu)的當量質(zhì)量相當于傳感器中的微質(zhì)量。微結(jié)構(gòu)的厚度與彈性臂的寬度可以根據(jù)彈性系數(shù)和振動系統(tǒng)固有頻率的要求來選擇。整個微結(jié)構(gòu)可在一塊光滑等厚的硅片上通過光刻、深反應(yīng)離子刻蝕(DRIE)、金屬膜蒸鍍等幾步完成。

　　2.2 參數(shù)設(shè)計

　　2.2.1 彈性系數(shù)

　　由于該微結(jié)構(gòu)具有對稱性，對于彈性系數(shù)的分析可以把其中的一個臂分離出來做靜力分析。這里，先用能量法來求集中力下單個彈性臂的線性位移。

　　假設(shè)在微結(jié)構(gòu)的中心點處施加一個與微結(jié)構(gòu)表面垂直的集中力4F，則每個彈性臂與中心部分相連的A點受到一個大小為F的集中力，A點位置如圖2中所示。這時彈性臂截面的軸力和剪力引起的變形很小，可以忽略不計，主要是彎矩和扭矩引起的變形。因此，每個彈性臂在集中力F的作用下，產(chǎn)生的總變形位能是