吉時利研發(fā)65nm以下工藝特征分析技術

美國俄亥俄州克里夫蘭，2008年2月18日訊—新興測量需求解決方案領導者美國吉時利（Keithley）儀器公司（NYSE代碼：KEI），日前宣布將與Stratosphere Solutions公司（Sunnyvale, CA）合作。Stratosphere Solutions致力于面向集成電路制造提供能夠提高工藝參數(shù)成品率的新型解決方案。吉時利與Stratosphere Solutions合作后將采用陣列TEG（測試元件組）技術展開先進工藝研發(fā)和監(jiān)測工作。

由于IC制造商不斷追求制造更小尺寸器件，因此65nm以下水平上的工藝參數(shù)偏差為廣大設計與測試工程師提出了巨大挑戰(zhàn)。半導體行業(yè)迫切需要監(jiān)測極其敏感的生產(chǎn)工藝，以便在不犧牲成品率的情況下獲得最佳IC性能。

吉時利與Stratosphere Solutions將合作為彼此共同的客戶提供一種獨特特征分析基本架構，采用吉時利S600系列參數(shù)測試儀和StratoPro™ IP實現(xiàn)大容量、高產(chǎn)能、高可靠參數(shù)測量解決方案，確?？蛻舫晒崿F(xiàn)先進半導體工藝。

吉時利副總裁、商務主管Mark Hoersten認為，“隨著半導體技術發(fā)展，器件小型化上限已經(jīng)達到納米級，測量技術不僅要與時俱進，而且要幫助制造商構建并測試這類器件， 作為先進半導體測試技術領導者，吉時利期望與業(yè)界主要廠商合作，針對最高級客戶應用提供創(chuàng)新性解決方案。”

Stratosphere Solutions公司首席戰(zhàn)略官Prashant Maniar認為，“Stratosphere Solutions非常高興與吉時利合作，共同提供最新的、即拆即用的、可互操作的測量解決方案，能夠與最先進測試工具進行互連，這對于整個行業(yè)都是至關重要的。 隨著半導體工藝達到45nm以下，越來越多客戶面臨改進參數(shù)成品率的挑戰(zhàn)。Stratosphere Solutions高度集成硅驗證解決方案對于幫助用戶進一步提高參數(shù)成品率，降低成品率改進所帶來的成本，加速測試時間，提高ROI都是非常關鍵的。”

吉時利S600系列參數(shù)測試儀通過適應器件工藝變化，幫助晶圓廠和代工廠降低芯片測試成本。這類測試儀可以用作成本極低的直流、射頻和陣列TEG測試儀，提高固定設備重用性，從而降低測試成本。S600系列最新產(chǎn)品S680在一個測試系統(tǒng)內實現(xiàn)并行測試功能、高直流測試靈敏度、飛安級分辨率以及高達40GHz射頻s參數(shù)測量功能，從而為65nm以下工藝節(jié)點測量提供具有當前業(yè)界最高產(chǎn)能和較低投資成本解決方案。

隨著工藝幾何尺寸縮減到65nm以下，陣列TEG結構，例如Stratosphere獲獎StratoPro產(chǎn)品套件，正日益成為半導體工藝特征分析的關鍵手段。主要半導體公司需要一種事實上的標準產(chǎn)品，StratoPro將同樣硅面積上的測試密度提高幾千倍，實現(xiàn)最高分辨率測量和改善總體測試完備性。

作為一個參數(shù)式ActiveMatrix™硅IP平臺，StratoPro™將憑借其高精度特性、電氣參數(shù)及可變性管芯內統(tǒng)計功能幫助晶圓廠和輕晶圓廠用戶實現(xiàn)芯片特征分析。用戶可以選擇65nm和45nm硅驗證StratoPro平臺，因為它將測試結構的密度提高了10～1000倍，實現(xiàn)很高測量分辨率，結合吉時利測試儀平臺后能夠大大縮短測試時間。晶圓廠用戶可以在工藝研發(fā)的早期、成品率改進和生產(chǎn)監(jiān)測過程中使用StratoPro™。輕晶圓廠用戶可以使用該系統(tǒng)對與設計風格相關工藝偏差進行特征分析。