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中科院在先進工藝仿真方向取得重要進展

  • 據(jù)中國科學院微電子研究所官網(wǎng)消息,近日,微電子研究所EDA中心陳睿研究員與先導中心李俊杰高級工程師、南方科技大學王中銳教授、維也納工業(yè)大學Lado Filipovic教授合作,針對GAA內側墻結構Si/SiGe疊層橫向選擇性刻蝕工藝面臨的形貌缺陷和均勻性問題,通過提出全新的Ge原子解吸附和擴散的模擬算法,建立了基于蒙特卡洛方法的連續(xù)兩步干法刻蝕工藝輪廓仿真模型,實現(xiàn)了針對Si/SiGe六疊層結構的橫向選擇性刻蝕工藝輪廓仿真,并完成了相應結構的流片實驗。通過結合形貌仿真和透射電子顯微鏡(TEM)表征,探究了
  • 關鍵字: 中科院  先進工藝  EDA  

新紫光集團報到,存儲+先進工藝

  • 7月11日,紫光集團宣布正式更名為“新紫光集團”,并發(fā)布了四大創(chuàng)新技術方向,分別為多元異構高效融合的新型智算集群系統(tǒng)解決方案、高端車規(guī)級芯片、6G與低軌道衛(wèi)星通信芯片、面向后摩爾時代的半導體技術新賽道。據(jù)悉,新紫光集團此前主要聚焦集成電路和數(shù)字科技等領域,涉及芯片設計、生產(chǎn)、封裝、測試、設備等半導體產(chǎn)業(yè)鏈,以及ICT設備、云服務和數(shù)字化解決方案等領域,并將產(chǎn)業(yè)版圖精細地劃分為移動通訊、存儲、汽車電子與智能芯片、材料與器件、信息通信基礎設施、信創(chuàng)與云服務、高可靠芯片、金融及其他板塊。隨著新品牌的發(fā)布,新紫光
  • 關鍵字: 新紫光  存儲  先進工藝  

又開始搞事情?美國欲對成熟制程芯片進行調查

  • 最近幾年,我國在國際半導體產(chǎn)業(yè)中的地位不斷上升,尤其是在成熟工藝芯片領域。根據(jù)數(shù)據(jù),中國的成熟工藝芯片產(chǎn)能已占全球份額的29%,在中國國崛起的同時,大洋彼岸的美國人坐不住了,今年年初,面對中國在28nm及成熟芯片的重要力量地位,美國眾議院的兩黨領導人呼吁采取更強有力的行動,提出加征關稅等措施,以遏制中國在該領域的主導地位。不光是進口,在出口方面,美國也一直在做手腳,在美國實施的芯片禁令中,大部分都是針對高端制程,從ASML的EUV光刻機到英偉達的A100芯片,清一色屬于高端產(chǎn)品。而14nm,28nm等成熟
  • 關鍵字: 美國  制程  先進工藝  

EUV提前半年問世:Intel先進工藝不跳票

  • 前不久的Intel投資者會議上,英特爾發(fā)布了先進工藝的路線圖,從去年的Intel 7工藝開始一路推進到Intel 18A工藝,酷睿處理器從12代一直持續(xù)到16代酷睿,甚至17代酷睿都在準備中了,2025年上市。? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?不僅工藝規(guī)劃的很好,而且這一次Intel更有信心,因為多代工藝實際上提前量產(chǎn)了,具體如下:Intel 4工藝是Intel第一個
  • 關鍵字: EUV  Intel  先進工藝  
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先進工藝介紹

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