半導(dǎo)體料材 文章 進(jìn)入半導(dǎo)體料材技術(shù)社區(qū)
半導(dǎo)體料材技術(shù)動向及挑戰(zhàn)
- 引言 半導(dǎo)體制造技術(shù)能否持續(xù)突破,材料一直扮演著重要的角色,從最早的鍺(Ge),到隨后普遍應(yīng)用的硅(Si),近年來又衍生出更多的材料,本文將針對此方面的新材料、新趨勢的發(fā)展,以及現(xiàn)有的技術(shù)難題等進(jìn)行討論。 銅導(dǎo)線材 在半導(dǎo)體技術(shù)發(fā)展初期的20世紀(jì)50年代,主要是以鍺元素為材料,不過鍺元素的耐高溫性不足、抗輻射能力差,以致在20世紀(jì)60年代后逐漸被硅元素取代,硅在抗熱、抗輻射等方面的表現(xiàn)都優(yōu)于鍺,適合用來制做大功率的集成電路。近年來,隨著制造技術(shù)不斷縮小到0.25um以下,集成電路在線路上的電
- 關(guān)鍵字: 07展望 半導(dǎo)體料材
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半導(dǎo)體料材介紹
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