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EEPW首頁(yè) >> 主題列表 >> 壓阻式加速度傳感器

基于MEMS硅微加速度傳感器的設(shè)計(jì)方案

  • 基于MEMS硅微加速度傳感器的設(shè)計(jì)方案-硅微加速度傳感器是MEMS器件中的一個(gè)重要分支，具有十分廣闊的應(yīng)用前景。由于硅微加速度傳感器具有響應(yīng)快、靈敏度高、精度高、易于小型化等優(yōu)點(diǎn)，而且 該種傳感器在強(qiáng)輻射作用下能正常工作，使其近年來(lái)發(fā)展迅速。
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壓阻式加速度傳感器介紹

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