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基于MEMS工藝的八角形前腔 亞毫米波集成喇叭天線

  • 亞毫米波平面集成天線在亞毫米波頻段具有其獨(dú)特的優(yōu)勢,然而平面集成天線單元的增益較低,本文研究了一種工作于900GHz的新型的亞毫米波集成喇叭天線,用于增強(qiáng)平面集成天線單元的輻射性能。該喇叭天線的加工綜合運(yùn)用MEMS干法刻蝕和濕法腐蝕兩種工藝,其結(jié)構(gòu)包括棱錐形喇叭背腔和八角形喇叭前腔兩部分,在可實現(xiàn)的MEMS工藝下,具有可調(diào)參數(shù)多的優(yōu)點(diǎn)。
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平面集成天線介紹

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