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IC芯片的晶圓級(jí)射頻(RF)測(cè)試

  • 對(duì)于超薄介質(zhì),由于存在大的漏電和非線性,通過標(biāo)準(zhǔn)I-V和C-V測(cè)試不能直接提取氧化層電容(Cox)。然而,使用高頻電路模型則能夠精確提取這些參數(shù)。隨著業(yè)
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晶圓級(jí)rf測(cè)試介紹

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