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晶片鍵合質量的紅外檢測系統(tǒng)設計

  • 本文主要討論以晶片的紅外透射原理為基礎，設計和搭建了紅外檢測裝置及相關的軟件模塊，并同硅片鍵合裝置結合，實現(xiàn)快速有效的在線鍵合工藝監(jiān)控和晶片鍵合質量的初步評估。
  • 關鍵字： 晶片鍵合  紅外檢測  質量  系統(tǒng)設計    
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晶片鍵合介紹

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