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波導(dǎo)SOl化學(xué)氣相沉積工藝特點(diǎn)

對(duì)于SOl波導(dǎo)來(lái)說(shuō)，CVD技術(shù)一般用來(lái)淀積其上包層，通常為二氧化硅或氮化硅。對(duì)于調(diào)制器等有源器件來(lái)說(shuō)，這一層還起著隔離金屬電極減小電極對(duì)波導(dǎo)造成損耗的作用，所以厚度一定要選擇合適，不能太薄，如果薄了就不能起
關(guān)鍵字：工藝特點(diǎn) 沉積氣相 SOl 化學(xué) 波導(dǎo)

1 引言氣相色譜法(GC)是英國(guó)生物化學(xué)家MartinATP等人在研究液液分配色譜的基礎(chǔ)上，于1952年創(chuàng)立的一種極有效的分離方法，它可分析和分離復(fù)雜的多組分氣體混合物。目前的氣相色譜系統(tǒng)主要包括5個(gè)主要部分：載氣、進(jìn)樣
關(guān)鍵字：色譜研究氣相微型 MEMS 技術(shù) 基于

氣相色譜儀的使用方法一、色譜儀的安裝 1．對(duì)色譜儀分析室的要求（1）分析室周?chē)坏糜袕?qiáng)磁場(chǎng)，易燃及強(qiáng)腐蝕性氣 ...
關(guān)鍵字：氣相色譜儀

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