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測試方法p+-si外延層腐蝕速率摻雜濃度摻 文章 進入測試方法p+-si外延層腐蝕速率摻雜濃度摻技術(shù)社區(qū)

摻硼p+-Si外延層厚度的測試方法

  • 0引言Si外延層厚度的測量方法有多種，主要包括稱重法、層錯法、磨角染色法、解理法和紅外干涉法。這些方法各具特點與適用范圍，例如，采用紅外干射法進行測量時，要求襯底表面對入射光具有足夠的反射能力。半導(dǎo)體材料對紅外...
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測試方法p+-si外延層腐蝕速率摻雜濃度摻介紹

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