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光刻機(jī)關(guān)鍵原料氖氣價(jià)格暴漲20倍 中企出手后：降下來了

• 芯片制造離不開光刻機(jī)，數(shù)據(jù)顯示，全球晶圓制造材料中的第一大耗材是硅片，第二大就是電子特氣。以光刻為例，需要的電子特氣就包括氖氣、氬氣、氪氣、氙氣等幾種稀有氣體。這是因?yàn)楣饪虤怏w是光刻機(jī)產(chǎn)生激光的光源，難以取代。其中氖氣主要用于深紫外光刻領(lǐng)域，服務(wù)1x nm到180nm芯片的加工。因?yàn)闉蹩颂m占全球氖氣供應(yīng)比例高達(dá)70%，所以去年一度，氖氣的價(jià)格飆升了20倍。不過來自TheElec的報(bào)道稱，氖氣的價(jià)格已經(jīng)明顯下跌，這主要是因?yàn)橹袊?、韓國等供應(yīng)商的加入。
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