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沈陽硅基科技訂購EVG設(shè)備用于SOI晶圓制造

  •   據(jù)了解,MEMS、納米技術(shù)和半導(dǎo)體市場領(lǐng)先的晶圓鍵合和光刻設(shè)備供應(yīng)商EVGroup(EVG)在SEMICONChina2011展會期間宣布,公司新客戶沈陽硅基科技有限公司訂購了一臺EVG850LT自動鍵合系統(tǒng)用于SOI晶圓制造。這家中美合資公司將采用EVG850LT來實現(xiàn)SOI晶圓的大規(guī)模量產(chǎn),該設(shè)備已在2010年9月出貨。
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