硅納米波 文章 進(jìn)入硅納米波技術(shù)社區(qū)

基于硅納米波導(dǎo)倏逝場耦合的超緊湊光學(xué)式MEMS加速度計

• 近些年，MEMS加速度計因其體積小、功耗低、易于與互補金屬氧化物半導(dǎo)體晶體管集成電路（CMOS IC）整合而受到持續(xù)關(guān)注。目前已經(jīng)開發(fā)了電容、壓阻、壓電、光學(xué)等原理的加速度計，以檢測輸入加速度引起的檢測質(zhì)量塊位移。在這些技術(shù)中，光學(xué)方案已被證明具有更高的精度和穩(wěn)定性，并且不會受到電磁干擾（EMI）。近些年，MEMS加速度計因其體積小、功耗低、易于與互補金屬氧化物半導(dǎo)體晶體管集成電路（CMOS IC）整合而受到持續(xù)關(guān)注。目前已經(jīng)開發(fā)了電容、壓阻、壓電、光學(xué)等原理的加速度計，以檢測輸入加速度引起的檢測質(zhì)量塊位
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