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日本住友精密收購(gòu)Tegal離子刻蝕事業(yè)部

  • 　　日本住友精密產(chǎn)品公司(SPP)日前完成了對(duì)Tegal離子刻蝕事業(yè)部的收購(gòu)，由此促成Tegal轉(zhuǎn)型為太陽(yáng)能系統(tǒng)項(xiàng)目開(kāi)發(fā)商。Tegal以制造和銷(xiāo)售深度反應(yīng)離子刻蝕(Deep Reactive Ion Etch，DRIE)設(shè)備而著稱(chēng)，但該公司2009年就打算退出半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)，轉(zhuǎn)投新興的太陽(yáng)能系統(tǒng)項(xiàng)目開(kāi)發(fā)市場(chǎng)。 　　
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離子刻蝕介紹

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