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離子探針顯微分析的工作原理和構(gòu)成

  • 離子探針顯微分析離子探針的學(xué)名叫作二次離子質(zhì)譜儀(Second Ion Mass Spectroscopy---SIMS),它在功能上與電子 ...
  • 關(guān)鍵字: 離子探針  顯微  
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離子探針介紹

  離子探針是用聚焦的一次離子束作為微探針轟擊樣品表面,測(cè)射出原子及分子的二次離子,在磁場(chǎng)中按質(zhì)荷比(m/e)分開(kāi),可獲得材料微區(qū)質(zhì)譜圖譜及離子圖像,再通過(guò)分析計(jì)算求得元素的定性和定量信息。離子探針適用于許多不同類型的樣品分析,包括金屬樣品、半導(dǎo)體器件、非導(dǎo)體樣品,如高聚物和玻璃產(chǎn)品等。廣泛應(yīng)用于金屬、半導(dǎo)體、催化劑、表面、薄膜等領(lǐng)域中以及環(huán)??茖W(xué)、空間科學(xué)和生物化學(xué)等研究部門?! ≈饕ㄋ牟糠? [ 查看詳細(xì) ]

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