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EEPW首頁 >> 主題列表 >> 離子注入機(jī)

國產(chǎn)65nm大角度離子注入機(jī)進(jìn)入晶圓生產(chǎn)線

  • 　　由北京中科信電子裝備有限公司自主研發(fā)的300mm/65nm大角度離子注入機(jī)進(jìn)入中芯國際(北京)集成電路制造有限公司，開始接受國際主流生產(chǎn)線的技術(shù)測試與器件工藝檢驗(yàn)，為這一國產(chǎn)集成電路制造裝備實(shí)現(xiàn)重大技術(shù)跨越作最后的沖刺。 　　
  • 關(guān)鍵字： 中科信  離子注入機(jī)  

國產(chǎn)離子注入機(jī)首次進(jìn)入300mm晶圓生產(chǎn)線

  • 　　由北京中科信電子裝備有限公司自主研發(fā)的300mm/65nm大角度離子注入機(jī)進(jìn)入中芯國際(北京)集成電路制造有限公司，開始接受國際主流生產(chǎn)線的技術(shù)測試與器件工藝檢驗(yàn)，為這一國產(chǎn)集成電路制造裝備實(shí)現(xiàn)重大技術(shù)跨越作最后的沖刺。這是國產(chǎn)高端離子注入機(jī)首次進(jìn)入300mm主流生產(chǎn)線，表明國內(nèi)的離子注入機(jī)研制已經(jīng)逐步達(dá)到世界主流技術(shù)水平。 　　
  • 關(guān)鍵字： 離子注入機(jī)  300mm晶圓  

行業(yè)巨頭“日新”落戶揚(yáng)州

  • 　　9月底，日本日新離子機(jī)株式會社與揚(yáng)州經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)簽訂了合作協(xié)議。日新株式會社將在揚(yáng)州經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)投資興建離子注入機(jī)設(shè)備生產(chǎn)廠。這是日新首個在日本國土外設(shè)立的生產(chǎn)基地。市委書記王燕文會見了前來簽約的日新株式會社社長長井宣夫并見證了簽約儀式。市委常委、秘書長盧桂平參加相關(guān)活動。 　　據(jù)了解，日新離子機(jī)株式會社是世界三大離子注入機(jī)供應(yīng)商之一。截至2009年，公司產(chǎn)品占日本市場的90%左右，約占亞太市場的53%。日本東芝、NEC，韓國三星，以及臺灣臺積電、聯(lián)電、茂德和力晶，大陸海力士、中芯國際、華虹NE
  • 關(guān)鍵字： 日新  離子注入機(jī)  
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離子注入機(jī)介紹

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