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基于光學發(fā)射光譜法監(jiān)測等離子體的光譜峰

海洋光學（Ocean Optics）長期以來一直為半導體工藝設備供應商的新材料研究提供強大支持，同時協(xié)助用戶克服等離子刻蝕、沉積、涂層和清潔等方面的困難和挑戰(zhàn)。海洋光學的光譜儀，基于光學發(fā)射光譜技術，被廣泛應用于等離子體監(jiān)測，并在刻蝕終點檢測方面表現(xiàn)出色。實驗配置：實驗采用光學發(fā)射光譜（OES）方法，分別使用紫外波段的ST微型光譜儀、通用型SR4光譜儀以及高分辨率的HR4和HR6光譜儀進行測試。所有光譜儀均配置了25μm的狹縫，積分時間設定為1秒，平均次數(shù)設置為1，滑動平均設置在0-1之間。根據(jù)具體使用情
關鍵字：光學發(fā)射光譜法等離子體海洋光學

精確跟蹤芯片蝕刻過程，用高分辨率光譜儀監(jiān)測等離子體

在半導體行業(yè)，晶圓是用光刻技術制造和操作的。蝕刻是這一過程的主要部分，在這一過程中，材料可以被分層到一個非常具體的厚度。當這些層在晶圓表面被蝕刻時，等離子體監(jiān)測被用來跟蹤晶圓層的蝕刻，并確定等離子體何時完全蝕刻了一個特定的層并到達下一個層。通過監(jiān)測等離子體在蝕刻過程中產(chǎn)生的發(fā)射線，可以精確跟蹤蝕刻過程。這種終點檢測對于使用基于等離子體的蝕刻工藝的半導體材料生產(chǎn)至關重要。等離子體是一種被激發(fā)的、類似氣體的狀態(tài)，其中一部分原子已經(jīng)被激發(fā)或電離，形成自由電子和離子。當被激發(fā)的中性原子的電子返回到基態(tài)時，等離子體
關鍵字：芯片蝕刻高分辨率光譜儀等離子體

等離子體表面處理技術在醫(yī)療器械領域的應用概述

對氣體施加電壓使之產(chǎn)生輝光放電的技術，或者稱做“等離子體”技術，在醫(yī)療器械領域已經(jīng)成為了一種解決表面預處理問題的有力工具。等離子體不僅可用于表面的極端清潔和消毒，它還可以改善生物材料對體外診斷平臺。
關鍵字：等離子體醫(yī)療器械表面處理

微型高分辨率光纖光譜儀在等離子體領域的應用

摘要等離子體是繼氣體、液體、固體后的第四種物質(zhì)的聚集態(tài)。等離子體物理學是一門蓬勃發(fā)展的新興科學，其應...
關鍵字：高分辨率光纖光譜儀等離子體

自制NE555等離子體揚聲器詳解（二）

上接：自制NE555等離子體揚聲器詳解（一）焊上63V 0.22微法的滌綸電容(音頻輸入)焊上電容焊上8050和8550對管控制信號輸出串聯(lián)一個22ohm的電阻把長多出來的引腳剪短然后把NE555電路從大電路板上裁下來焊接完成來張
關鍵字： 555 NE 等離子體揚聲器

自制NE555等離子體揚聲器詳解（一）

準備材料：電烙鐵 *1吸錫泵*1松香*1焊錫絲*1洞洞板*1電子元件：四分之一瓦電阻：10K 18K 470ohm 22ohm *13296精密可調(diào)電位器*1三端穩(wěn)壓器 7812*1濾波鋁電解電容*11nF獨石電容*163V 0.22微法滌綸電容*1IC ：NE555 *1
關鍵字： 555 NE 等離子體揚聲器

CAN總線在流光放電等離子體煙氣脫硫監(jiān)控系統(tǒng)的應用

隨著我國經(jīng)濟的發(fā)展，能源消費帶來的環(huán)境污染也越來越嚴重。燃煤煙氣中排放的二氧化硫和氮氧化物占全國總排放...
關鍵字： CAN總線等離子體脫硫監(jiān)控系統(tǒng)

uPD16305在等離子體顯示器中的應用介紹

摘要：介紹了NEC公司生產(chǎn)的專用于等離子體顯示器的行驅(qū)動芯片mu;PD16305的性能特點及其它PDP顯示系統(tǒng)中的應用。它為PDP掃描電極的驅(qū)動電路提供了高達180V的驅(qū)動信號，顯示效果令人滿意。
關鍵詞：等離子體顯示器
關鍵字：介紹應用顯示器等離子體 uPD16305

星弧等離子體技術在LED制作工藝中的應用

前言LED是可直接將電能轉(zhuǎn)化為可見光的發(fā)光器件，它有著體積小、耗電量低、使用壽命長、發(fā)光效率高、高亮度低熱量、環(huán)保、堅固耐用及可控性強等諸多優(yōu)點，發(fā)展突飛猛進，現(xiàn)已能批量生產(chǎn)整個可見光譜段各種顏色的高亮度
關鍵字： LED 等離子體制作工藝中的應用

等離子體表面處理技術在醫(yī)療器械領域的應用

等離子體表面處理技術在醫(yī)療器械領域的應用,對氣體施加電壓使之產(chǎn)生輝光放電的技術，或者稱做“等離子體”技術，在醫(yī)療器械領域已經(jīng)成為了一種解決表面預處理問題的有力工具。等離子體不僅可用于表面的極端清潔和消毒，它還可以改善生物材料對體外診
關鍵字：等離子體表面處理技術醫(yī)療器械

彩色表面等離子體共振成像研究

自Ash和Knoll等創(chuàng)立表面等離子體共振成像( Surface PlasmON Resonance Imaging, SPR I)技術以來, 使得生物分子點陣的無標記并行檢測成為可能. 迄今為止, SPR I主要采用單波長激發(fā)光源, 檢測到的是單色或黑白圖像. 雖
關鍵字：成像研究共振等離子體表面彩色

uPD16305在等離子體顯示器中的應用

摘要：介紹了NEC公司生產(chǎn)的專用于等離子體顯示器的行驅(qū)動芯片mu;PD16305的性能特點及其它PDP顯示系統(tǒng)中的應用。它為PDP掃描電極的驅(qū)動電路提供了高達180V的驅(qū)動信號，顯示效果令人滿意。
關鍵詞：等離子體顯示器
關鍵字：應用顯示器等離子體 uPD16305

介質(zhì)阻擋等離子體串聯(lián)諧振式電源

　　引言　　介質(zhì)阻擋放電(DBD)最早起源于對臭氧發(fā)生及其應用技術的研究。近二十多年來，由于工業(yè)等離子體化學合成與分解、環(huán)境污染治理等方面的需求，同時又由于材料科學和電力電子技術等相關學科也取得了較大的發(fā)展
關鍵字：諧振電源串聯(lián) 等離子體阻擋介質(zhì)

大功率介質(zhì)阻擋等離子體電源特性及工業(yè)應用研究

引言
介質(zhì)阻擋放電(DBD)最早起源于對臭氧發(fā)生及其應用技術的研究。近二十多年來，由于工業(yè)等離子體化學合成與分解、環(huán)境污染治理等方面的需求，同時又由于材料科學和電力電子技術等相關學科也取得了較大的發(fā)展，
關鍵字：工業(yè) 應用研究特性電源介質(zhì) 阻擋等離子體大功率電源

表面波等離子體激勵源設計

摘要：本文設計了頻率及輸出功率可調(diào)的表面波等離子體激勵源， ADF4360-7產(chǎn)生850MHz~950MHz頻率的振蕩信號， ADL5330、兩級功率放大器、AD8318和C8051F020控制輸出功率。實現(xiàn)了表面波等離子體的激發(fā)。關鍵詞：表面波；等離子體；激勵源引言利用微波在介質(zhì)表面激發(fā)出截止密度以上的等離子體，然后微波在介質(zhì)與等離子體間形成表面波的傳輸，具有一定電場強度的表面波在其傳輸?shù)姆秶鷥?nèi)可生成和維持高密度的等離子體，因此稱為表面波等離子體。將微波導入一介質(zhì)管，在介質(zhì)管壁上激發(fā)出表面波傳輸，即
關鍵字：嵌入式系統(tǒng) 單片機表面波等離子體激勵源測試測量

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等離子體介紹

等離子體是由部分電子被剝奪后的原子及原子被電離后產(chǎn)生的正負電子組成的離子化氣體狀物質(zhì)，它是除去固、液、氣外，物質(zhì)存在的第四態(tài)。等離子體是一種很好的導電體，利用經(jīng)過巧妙設計的磁場可以捕捉、移動和加速等離子體。等離子體物理的發(fā)展為材料、能源、信息、環(huán)境空間，空間物理，地球物理等科學的進一步發(fā)展提新的技術和工藝。目錄 1 簡介 2 主要應用 3 等離子技術 4 不穩(wěn)定性 5 參 [ 查看詳細 ]

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