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EEPW首頁 >> 主題列表 >> 等離子沉積系統(tǒng)

東方集成在上海安裝了等離子體沉積系統(tǒng)

  • 2012年3月，東方集成在上海某研究所成功安裝了SENTECH SI500D等離子體沉積系統(tǒng)。SI500D等離子沉積系統(tǒng)是ICP-PECVD設(shè)備，用于在基片上沉積 SiOx, SiOxNy或 SiNy薄膜。沉積薄膜的厚度、折射率、應(yīng)力可以簡單的、連續(xù)的調(diào)節(jié)。
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等離子沉積系統(tǒng)介紹

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