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粒子計數(shù)器種類及原理

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粒子計數(shù)器介紹

氣體工業(yè)名詞術(shù)語。粒子計數(shù)可采用激光粒子計數(shù)器或凝聚核粒子計數(shù)器。He2Ne激光粒子計數(shù)器,可分析氣體中011μm粒徑的顆粒雜質(zhì);Ar2Kr激光粒子計數(shù)器可分析0105μm粒徑顆粒雜質(zhì),目前已有可檢測超高純氣中01005μm的粒子計數(shù)器。光電塵粒計數(shù)器是一種利用光的散射原理進行塵粒計數(shù)的儀器。一定流量的含塵氣體通過一束強光,使粒子發(fā)射出散射光,經(jīng)過聚光透鏡投射到光電倍增管上,將光脈沖變?yōu)殡娒}沖,由 [ 查看詳細 ]

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