精密工作臺(tái) 文章 進(jìn)入精密工作臺(tái)技術(shù)社區(qū)
基于自動(dòng)調(diào)焦顯微視覺的MEMS運(yùn)動(dòng)測(cè)量技術(shù)
- 摘要：為了對(duì)徽機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)的機(jī)械動(dòng)態(tài)性能進(jìn)行測(cè)試，結(jié)臺(tái)自動(dòng)調(diào)焦、機(jī)器顯徽視覺和頻閃照明成像等多項(xiàng)技術(shù)...
- 關(guān)鍵字： MEMS器件 自動(dòng)調(diào)焦系統(tǒng) 調(diào)焦范圍 亞像素 平面運(yùn)動(dòng) 顯微 精密工作臺(tái) 驅(qū)動(dòng)信號(hào) 測(cè)量精度 測(cè)量周期
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精密工作臺(tái)介紹
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