高能同步輻射光源 文章 進(jìn)入高能同步輻射光源技術(shù)社區(qū)

國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)工廠落地雄安？中國(guó)電子院澄清：這是北京高能同步輻射光源

• 近期，一則消息在各大視頻平臺(tái)廣為傳播，稱清華大學(xué)EUV項(xiàng)目把ASML的光刻機(jī)巨大化，實(shí)現(xiàn)了光刻機(jī)國(guó)產(chǎn)化，并表示這個(gè)項(xiàng)目已經(jīng)在雄安新區(qū)落地。對(duì)此，中國(guó)電子工程設(shè)計(jì)院有限公司（下稱中國(guó)電子院）9月18日發(fā)聲，稱該項(xiàng)目并非網(wǎng)傳的國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)工廠，而是北京高能同步輻射光源項(xiàng)目（HEPS）。北京高能同步輻射光源項(xiàng)目坐落于北京懷柔雁棲湖畔，是國(guó)家“十三五”重大科技基礎(chǔ)設(shè)施，它是我國(guó)第一臺(tái)高能量同步輻射光源，也是世界上亮度最高的第四代同步輻射光源之一。該項(xiàng)目早在2019年就開(kāi)始建設(shè)、將于2025年底投入使用。北京高能同步
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