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摩爾定律聲聲喚 CMP制程再精進(jìn)

  • 　　半導(dǎo)體元件若要追上摩爾定律速度，微縮制程就需要更新的技術(shù)相挺。化學(xué)材料與電子產(chǎn)品間的關(guān)系密不可分，美商陶氏化學(xué)旗下分公司陶氏電子材料的最新制程：化學(xué)機(jī)械研磨(CMP)銅制程，主訴求無(wú)研磨粒、自停(self-stopping)機(jī)制以及研磨墊，提供CMP銅制程高效能、低成本的解決方案。
  • 關(guān)鍵字： 陶氏電子  CMP制程  
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cmp制程介紹

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