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圖案化基板如何提高LED光提取效率?
- 圖案化基板,簡(jiǎn)稱PSS(PatternedSapphireSubstrate),俗稱圖形化襯底,也就是在藍(lán)寶石襯底上生長(zhǎng)干法刻蝕用掩膜,用標(biāo)準(zhǔn)的光刻工藝將掩
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