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mems氣敏器件 文章 進入mems氣敏器件技術社區(qū)

復旦大學盧紅亮教授團隊在新型氣敏材料及MEMS氣敏器件研究中取得新進展

  • 近日，復旦大學微電子學院教授盧紅亮（通訊作者）領導的團隊首次結合硬模板法、原子層沉積技術和水熱工藝，在低功耗MEMS器件上原位合成了單層有序SnO2納米碗支化ZnO納米線的多級異質復合納米材料，并以此作為氣體傳感器，對濃度低至1ppm的硫化氫實現(xiàn)了超靈敏和高選擇性的探測。相關成果以《Hierarchical highly ordered SnO2 nanobowls branched ZnO nanowires for ultrasensitive and selective hydrogen sulfi
  • 關鍵字： 復旦大學  新型氣敏材料  MEMS氣敏器件  
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mems氣敏器件介紹

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