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羅門哈斯推出下一代VISIONPAD? 淺溝槽隔離工藝研磨墊

  • 　　羅門哈斯公司電子材料CMP技術(shù)事業(yè)部近日宣布其先進(jìn)的 VisionPad 平臺(tái)家族又增添一款新品——VisionPad? 5000 CMP研磨墊。這款研磨墊可用于65 nm以下存儲(chǔ)及邏輯芯片的量產(chǎn)，能大大降低淺溝槽隔離工藝(STI)及層間絕緣(ILD)應(yīng)用的缺陷率。 　　VisionPad 5000采用了CMP技術(shù)事業(yè)部專門設(shè)計(jì)的聚合材料，適用于各種市售研磨液，能顯著降低研磨缺陷率。此外，孔隙尺寸及密度的優(yōu)化設(shè)計(jì)也是此款新品的主要設(shè)計(jì)亮點(diǎn)。羅門哈斯技術(shù)人員經(jīng)過大量
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