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ASML：3D整合將成為2D收縮日益重要的補(bǔ)充技術(shù)

  • 據(jù)媒體報道，3月5日，ASML發(fā)布2024年度報告，首席執(zhí)行官克里斯托弗·福凱（Christophe Fouquet）表示，如果展望ASML的未來增長，光刻技術(shù)無疑仍然是摩爾定律的主要驅(qū)動力之一，相信這一點(diǎn)在未來許多年里依然成立。與此同時，二維收縮（2D shrink）正變得越來越困難。這并不完全是由于光刻技術(shù)的局限性，而是因?yàn)槲覀儙缀踹_(dá)到了邏輯和存儲器客戶所使用的晶體管的極限。為了繼續(xù)在二維收縮方面取得進(jìn)展，需要在架構(gòu)和器件上進(jìn)行創(chuàng)新。這意味著需要進(jìn)行三維前道整合（3D front-end integr
  • 關(guān)鍵字： ASML  2D shrink  光刻技術(shù)  三維整合  
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