MEMS傳感器市場(chǎng)面臨空前機(jī)遇

　　醫(yī)療保健被稱為MEMS的第三波應(yīng)用，同時(shí)也被MEMS行業(yè)稱為高價(jià)值市場(chǎng)。隨著人口老齡化和醫(yī)療保健費(fèi)用的提升，各種遠(yuǎn)距離監(jiān)護(hù)和高精度治療設(shè)備將越來越多地被引入。VTI是醫(yī)療保健MEMS技術(shù)的領(lǐng)先供應(yīng)商，每分鐘全球就有一臺(tái)帶有VTI傳感器的起搏器安裝在患者的體內(nèi);該公司期望與更多的系統(tǒng)廠家合作采用其MEMS傳感器研發(fā)出多樣化的醫(yī)療保健設(shè)備。

　　技術(shù)進(jìn)步推高市場(chǎng)對(duì)MEMS傳感器的需求

　　技術(shù)進(jìn)步也是MEMS行業(yè)發(fā)展的一個(gè)重要推動(dòng)力，特別是MEMS與數(shù)字芯片在同一封裝內(nèi)的片上集成，給MEMS市場(chǎng)振興帶來了巨大的支持。在2007年推出了MEMS搭載芯片技術(shù)(Chip-on-MEMS，CoM)后，VTI也獲得了巨大的發(fā)展，各種新的應(yīng)用解決方案脫穎而出。

　　不久前，該公司推出并在近期量產(chǎn)的CMR3000 3軸陀螺儀就是這種MEMS片上系統(tǒng)，不僅其芯片級(jí)的封裝使其體積僅為3.1x4.2x0.8 mm3，而且提供了SPI或者I2C數(shù)字輸出，同時(shí)實(shí)現(xiàn)了僅為5mA的業(yè)界最低功耗，而測(cè)量精度高達(dá)+/- 2000 dps。該器件專為游戲機(jī)、遙控器等人機(jī)界面和手機(jī)等優(yōu)化，目前已有客戶將該器件與8051結(jié)合設(shè)計(jì)出高精度投影光標(biāo)遙控器。

　　用于時(shí)鐘發(fā)生的MEMS振蕩器也是當(dāng)前MEMS應(yīng)用的一個(gè)熱點(diǎn)，隨著便攜電子設(shè)備對(duì)時(shí)鐘發(fā)生解決方案在體積和精度上的要求越來越高，采用MEMS來替代石英晶體振蕩器的呼聲也越來越大。市場(chǎng)調(diào)研公司Yole的分析表明：MEMS振蕩器的全球市場(chǎng)將從2009年的8百萬美元快速增長(zhǎng)到2015年的6.45億美元。

　　VTI在近期也宣布了進(jìn)入MEMS振蕩器市場(chǎng)，該公司采用逆向思維設(shè)計(jì)出了芯片搭載MEMS的結(jié)構(gòu)(MEMS-on-Chip，MoC)和芯片級(jí)的封裝，實(shí)現(xiàn)了小型化、高精度的時(shí)鐘解決方案。其技術(shù)訣竅是用數(shù)字電路來補(bǔ)償穩(wěn)定變化，以保證振蕩器產(chǎn)生的頻率穩(wěn)定在目標(biāo)頻率上。VTI的時(shí)鐘產(chǎn)品將于近期推出，采用8英寸晶圓生產(chǎn)從而使該器件的成本大為降低。

　　ESP(ESC)將再次推動(dòng)MEMS傳感器在汽車電子中的應(yīng)用

　　MEMS在汽車電子中的應(yīng)用極為廣泛，其應(yīng)用方向和市場(chǎng)需求包括車輛的防抱死系統(tǒng)(ABS)、電子車身穩(wěn)定程序(ESP)、電控懸掛(ECS)、電動(dòng)手剎(EPB)、斜坡起動(dòng)輔助(HAS)、胎壓監(jiān)控(EPMS)、引擎防抖、車輛傾角計(jì)量和車內(nèi)心跳檢測(cè)等等。其中電子車身穩(wěn)定程序ESP是許多MEMS廠商高度關(guān)注的新應(yīng)用，由于其主動(dòng)防滑功能要求更多的傳感器和先進(jìn)的處理系統(tǒng)，因此將使汽車電子這一MEMS傳統(tǒng)應(yīng)用市場(chǎng)再放光芒。

　　ESP的全稱是Electronic Stability Program，它是當(dāng)前汽車防滑的最先進(jìn)手段。ESP包含ABS及ASR，是這兩種系統(tǒng)功能上的延伸，它能夠探測(cè)和分析車況并糾正駕駛的錯(cuò)誤。ESP對(duì)過度轉(zhuǎn)向或不足轉(zhuǎn)向特別敏感，例如汽車在路滑時(shí)左拐過度轉(zhuǎn)向(轉(zhuǎn)彎太急)時(shí)會(huì)產(chǎn)生向右側(cè)甩尾，傳感器感覺到滑動(dòng)就會(huì)迅速制動(dòng)右前輪使其恢復(fù)附著力，產(chǎn)生一種相反的轉(zhuǎn)矩而使汽車保持在原來的車道上。

　　從電子系統(tǒng)來看，ESP由控制單元及轉(zhuǎn)向傳感器(監(jiān)測(cè)方向盤的轉(zhuǎn)向角度)、車輪傳感器(監(jiān)測(cè)各個(gè)車輪的速度轉(zhuǎn)動(dòng))、側(cè)滑傳感器(監(jiān)測(cè)車體繞垂直軸線轉(zhuǎn)動(dòng)的狀態(tài))、橫向加速度傳感器(監(jiān)測(cè)汽車轉(zhuǎn)彎時(shí)的離心力)等組成。控制單元通過這些傳感器的信號(hào)對(duì)車輛的運(yùn)行狀態(tài)進(jìn)行判斷，進(jìn)而發(fā)出控制指令。

　　作為一種帶有主動(dòng)安全措施的全新道路安全技術(shù)，全球許多國(guó)家和地區(qū)開始立法強(qiáng)制安裝帶有ESP的電子車身穩(wěn)定系統(tǒng)(ESC)，其中美國(guó)和加拿大將從今年9月起要求所有新生產(chǎn)的輕型車輛安裝ESC，歐盟和澳大利亞則要求從今年11月起所有的新型號(hào)需安裝ESC，韓國(guó)和日本則分別要求從明年1月和10月起所有新型號(hào)需帶有ESC。

　　“從全球立法的速度來分析，到2015年全球生產(chǎn)的輕型車輛一半以上將帶有ESC;與此同時(shí)電子裝備集成和傳感器融合將進(jìn)一步拉低ESC系統(tǒng)的成本，在今后3年內(nèi)基于硅的陀螺儀將成為主動(dòng)或被動(dòng)安全系統(tǒng)的主流技術(shù)。”VTI交通業(yè)務(wù)副總裁Hannu Laatikainen說。“包括中國(guó)在內(nèi)的‘金磚四國(guó)’擁有全球發(fā)展最快的汽車產(chǎn)業(yè)，我們希望與他們的汽車電子廠家合作共同推進(jìn)汽車安全技術(shù)。”