技術(shù)維護保養(yǎng):泵的認識和常見的故障問題
渦輪分子泵是利用高速旋轉(zhuǎn)的動葉輪將動量傳給氣體分子,使氣體產(chǎn)生定向流動而抽氣的真空泵。
渦輪分子泵的優(yōu)點是啟動快,能抗各種射線的照射,耐大氣沖擊,無氣體存儲和解吸效應(yīng),無油蒸氣污染或污染很少,能獲得清潔的超高真空。渦輪分子泵廣泛用于高能加速器、可控熱核反應(yīng)裝置、重粒子加速器以及真空鍍膜等需要獲得高真空度制造工藝中。
渦輪分子泵的工作原理,結(jié)構(gòu)型式及其優(yōu)缺點。
為了利用渦輪分子泵,獲得清潔真空,國外多利用干式機械泵作其前級泵,構(gòu)成無油的真空系統(tǒng)。然而,目前國內(nèi)渦輪分子泵多以油封機械泵為其前級泵,構(gòu)成了有油真空系統(tǒng),如果操作不當,很難避免油蒸汽返流,對真空系統(tǒng)的污染。利用有油系統(tǒng)獲得清潔真空,國內(nèi)外都有一些有效防止返流的措施和成功的操作經(jīng)驗。
應(yīng)用:當今,現(xiàn)代化的半導體行業(yè)中,越來越多地應(yīng)用渦輪分子泵。如濺射、刻蝕、蒸發(fā)、注入、分子束外延、離子加工等設(shè)備都需要在真空環(huán)境下運行。又如電子顯微鏡,表面分析儀器,殘余氣體分析儀及氦質(zhì)譜檢漏儀等也經(jīng)常使用渦輪分子泵來抽真空。此外,在宇宙模擬設(shè)備、核聚變裝置、太陽能集熱管鍍膜生產(chǎn)線上也都改用大型渦輪分子泵或低溫泵來代替油擴散泵系統(tǒng),以防止油蒸汽的污染。因此,最近十幾年來,渦輪分子泵,在國內(nèi)、外都得到了顯著的改進和發(fā)展。在渦輪分子泵的應(yīng)用日益增加干式的前級泵還沒有大量普及和應(yīng)用的情況下,有時還不得不用油封機械泵來作渦輪分子泵的前級泵。因此,針對這種現(xiàn)狀,對渦輪分子泵的合理選用和正確操作是很重要的。
分子泵常見的故障問題:
1、分子泵為何會發(fā)生半邊熱,半邊冷的現(xiàn)象?
2、分子泵使用中發(fā)現(xiàn)油發(fā)黑,請問油為什么發(fā)黑?或者多長時間油才會變黑?
3、分子泵在運轉(zhuǎn)過程中,出現(xiàn)頻率從正常下降至一定頻率后又恢復(fù)到正常,之后又下降至一定頻率,再恢復(fù)到正常,反反復(fù)復(fù),更換電源后現(xiàn)象仍如此,請問該現(xiàn)象如何解釋?
4、分子泵軸承為什么會燒毀
5、有防護網(wǎng)保護,為什么還會有大塊碎玻璃掉入泵內(nèi)?
6、真空度很好的情況下,分子泵油為何會返到前級管道?
7、正常使用下,為什么分子泵油池會出現(xiàn)裂紋或者變形?
8、分子泵中經(jīng)常掉出頂絲、鏍釘?shù)任矬w,如M5的頂絲等,請問是否對分子泵的使用有影響?應(yīng)如何解決?
9、膠圈口分子泵要用多少卡鉗,使用才安全?
10、變頻器電源在什么情況下會造成程序丟失或者錯亂?
11、分子泵噪音大如何界定?是否有合格標準,是多少?
12、分子泵是否對冷卻有明確要求?如風冷需要外界溫度是多少?如水冷則對水有何具體要求?如未達到要求會出現(xiàn)何后果?
13、分子泵電源存在接地、屏蔽等問題,應(yīng)如何做才是最佳方式?
14、變頻器電源,轉(zhuǎn)速上升過程中就自動關(guān)機,即顯示“Poff”?
15、分子泵葉片破碎的原因?
維護保養(yǎng):零部件精修服務(wù)
零部件精修服務(wù)為您提供:
1)關(guān)鍵零部件精修,如泵,電路板等關(guān)鍵部件的維修,均含有質(zhì)保,節(jié)省成本;
2)關(guān)鍵零部件平價替代,均含有質(zhì)保。
短、中、長期綜合維保服務(wù)
1、不限次數(shù)上門服務(wù)
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4、儀器備件優(yōu)先享用
5、保修服務(wù)可以季度、年度、2-5年度靈活服務(wù)
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