沈陽儀表院原院長：警惕！傳感器可能重蹈“IC芯片”之轍！

本文主要來自對沈陽儀表院原院長、中國儀器儀表行業(yè)協(xié)會傳感器分會名譽理事長徐開先的采訪，徐開先先生對我國儀器及傳感器事業(yè)有莫大貢獻。

徐開先認為我國傳感器產(chǎn)業(yè)至今成績很大，問題不少，前景光明；如果不在傳感器芯片上投入和下功夫，那可能重蹈“IC芯片”之轍；IC與MEMS的集成與融合，是傳感技術產(chǎn)業(yè)發(fā)展的必由之路……

相比IC芯片產(chǎn)業(yè)，中國傳感器產(chǎn)業(yè)的脆弱程度更甚！

 智能傳感器是未來信息技術產(chǎn)業(yè)核心與基礎

“如果不在傳感器芯片上投入和下功夫，那可能重蹈“IC芯片”之轍?！?、“IC與MEMS的集成與融合，是傳感技術產(chǎn)業(yè)發(fā)展的必由之路，特別是高檔傳感器、智能傳感器。” 中國儀器儀表行業(yè)協(xié)會傳感器分會名譽理事長、沈陽儀表科學院原院長徐開先在接受《通信產(chǎn)業(yè)報》（網(wǎng)）采訪中表示。

在全球信息技術跨界融合加速，萬物互聯(lián)的時代，智能傳感器作為與外界環(huán)境交互的重要手段和感知信息的主要來源，被視為決定未來信息技術產(chǎn)業(yè)發(fā)展的核心與基礎之一。

傳感器技術歷經(jīng)了多年的發(fā)展，大體可分為三代：第一代是結構型傳感器，利用結構參量變化來感受和轉化信號；第二代是20世紀70年代發(fā)展起來的固體型傳感器，這種傳感器由半導體、電介質(zhì)、磁性材料等固體元件構成；第三代傳感器是智能型傳感器。

智能傳感器具有信息采集、信息處理、信息交換、信息存儲功能的多元件集成電路，是集傳感芯片、通信芯片、微處理器、驅(qū)動程序、軟件算法等于一體的系統(tǒng)級產(chǎn)品。

智能感知時代，智能傳感器扮演越來越重要的角色，2020年全球智能傳感器市場規(guī)模約為358億美元。

物聯(lián)網(wǎng)、云計算、大數(shù)據(jù)、人工智能應用的興起，推動傳感技術由單點突破向系統(tǒng)化、體系化的協(xié)同創(chuàng)新轉變，大平臺、大生態(tài)主導核心技術走向態(tài)勢明顯，并成為發(fā)達國家和跨國企業(yè)布局的戰(zhàn)略高地。

目前智能傳感器的應用領域主要有消費電子、汽車電子、工業(yè)電子和醫(yī)療電子四大領域。

在政策和市場驅(qū)動下，我國智能傳感器產(chǎn)業(yè)生態(tài)趨于完備。設計、制造、封測等重點環(huán)節(jié)均有骨干企業(yè)布局。國內(nèi)智能傳感器技術研發(fā)已經(jīng)初步開展，同時一些科研機構已建立起智能傳感器中試服務平臺，助推我國產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新發(fā)展。

與此同時，核心技術缺失、產(chǎn)品有效供給不足、技術創(chuàng)新能力不強、科研生產(chǎn)與應用不協(xié)同等問題仍然有待突破。

 短板：高精度傳感器

但由于起步較晚，我國智能傳感器產(chǎn)業(yè)目前仍面臨產(chǎn)品有效供給不足、技術創(chuàng)新能力不強、科研生產(chǎn)與應用不協(xié)同等問題，由此帶來的產(chǎn)業(yè)安全、信息安全挑戰(zhàn)不容忽視。

長期以來，在傳感器的關鍵行業(yè)，關鍵技術，高附加值應用上，國際品牌還處于壟斷地位。“由于傳感器門類眾多，技術門檻不一，我國在常規(guī)的傳感器方面有所布局，但高精度的傳感器是短板。”河南師范大學從事物聯(lián)網(wǎng)研究的教授袁培燕向《通信產(chǎn)業(yè)報》(網(wǎng))記者表示。

高檔傳感器產(chǎn)品幾乎100％從國外進口，90％芯片從國外進口許多產(chǎn)品是“有品無芯”。工業(yè)自動化用高檔變送器用傳感器，如EJA儀表中核心部件傳感器，年銷售35萬臺左右，全部由國外或國外在國內(nèi)的獨資企業(yè)生產(chǎn)。

汽車傳感器幾乎被國外壟斷，某些特種用途和特殊量程的傳感器，如航天、航空、航海專用傳感器，國內(nèi)基本不能生產(chǎn)。高端智能裝備領域光纖傳感器技術及產(chǎn)品與國外相比尚有較大差距。

在氣體傳感器領域，國內(nèi)企業(yè)的氣體傳感器技術整體研發(fā)水平大幅落后于發(fā)達國家，國內(nèi)對氣體傳感器的研究主要體現(xiàn)在低端的半導體傳感器和催化燃燒傳感器方面。

在高端的紅外及電化學傳感器的研究較少，沒有成熟的應用技術，高端紅外及電化學高端氣體傳感器及檢測儀器儀表依賴進口。即使在低端的半導體和催化燃燒氣體傳感器方面，在產(chǎn)品的精度、穩(wěn)定性和工藝方面相對于國外先進技術仍有較大差距。

溫度傳感器方面，對NTC熱敏電阻器，國內(nèi)企業(yè)實力嚴重不足，90％的市場份額被外資占領。極高溫、耐輻射、耐高壓的溫度傳感器尚不能批產(chǎn)。環(huán)境監(jiān)測傳感器領域空白多，產(chǎn)品少，細顆粒物沒有能力監(jiān)測。

談及我國傳感器落后的原因，多位專家均表示：技術、工藝以及材料等多種因素使然。創(chuàng)新能力弱；關鍵技術尚未突破；產(chǎn)業(yè)結構不合理，品種少、系列不全；企業(yè)能力弱。

“傳感器涉及到研發(fā)、設計以及生產(chǎn)等環(huán)節(jié)?！?“我國在材料、制程以及工藝等關鍵技術領域缺乏積累，所以這是一個長期的過程。”

▲不同封裝氣體傳感器（圖源：網(wǎng)絡）

首先，關鍵技術尚未突破是主要制約因素。目前我國傳感器共性關鍵技術尚未突破。在設計技術方面，傳感器的設計技術涉及多種學科、多種理論、多種材料、多種工藝及現(xiàn)場使用條件；設計軟件價格昂貴、設計過程復雜、考慮因子眾多；設計人才匱乏，設計人員不僅需了解通用設計程序和方法，還需熟悉器件制備工藝，了解器件現(xiàn)場使用條件?？梢哉f國內(nèi)尚無一套有自主知識產(chǎn)權的，真正好用的傳感器設計軟件。

在可靠性技術方面，國產(chǎn)傳感器可靠性不高是影響國產(chǎn)傳感器大量應用的主要原因之一。據(jù)了解電力部門采用國外傳感器產(chǎn)品三年不需檢修，采用國內(nèi)產(chǎn)品每季度檢修一次，石化部門，重要生產(chǎn)線幾乎全部采用國外傳感器，而不敢使用國內(nèi)產(chǎn)品。通常國產(chǎn)傳感器可靠性指標比國外同類產(chǎn)品低1～2個數(shù)量級。

在封裝技術方面，傳感器的封裝結構和封裝材料，影響傳感器的遲滯、時間常數(shù)、靈敏限，使用壽命等性能。從制造成本看，傳感器的封裝成本通常為總成本的30％～70％。國內(nèi)對傳感器的封裝技術尚未形成系列、標準，也無統(tǒng)一接口，因而傳感器的外型千差萬別，很不利于用戶選用和產(chǎn)品互換。

▲不同封裝溫度傳感器（圖源：網(wǎng)絡）

其次，產(chǎn)業(yè)化能力不足也是制約因素。目前國內(nèi)高精度、高可靠傳感器研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化能力嚴重滯后于需求，技術水平相比國外還有較大差距，產(chǎn)品一致性、可靠性水平比國外低1～2個數(shù)量級，產(chǎn)品的品種和系列大約是國外的30%～40％，產(chǎn)品的產(chǎn)業(yè)化程度不足15％。

導致高精度、高可靠傳感器嚴重依賴進口，從而被這些發(fā)達國家壟斷，例如GE公司、Honeywell公司、英飛凌公司、西門子公司、ABB公司、歐姆龍公司、基恩士公司等等。

國內(nèi)傳感器產(chǎn)品不配套、不成系列。 系列中比較易生產(chǎn)的某些規(guī)格尚能生產(chǎn)，且重復生產(chǎn)，惡性競爭，系列兩端的產(chǎn)品往往不能生產(chǎn)，多需國外進口，如工業(yè)自動化儀表中廣為應用的、高精度、高穩(wěn)定的低微差壓傳感器（量程≤1KPa），高差壓、高靜壓傳感器（量程≥3MPa、靜壓≥60MPa）。

第三，資源分散，產(chǎn)業(yè)規(guī)模小。目前國內(nèi)傳感器產(chǎn)品處于發(fā)展階段，傳感器品種也不多，企業(yè)分散，制造水平低，產(chǎn)業(yè)規(guī)模小。目前我國傳感器企業(yè)有1600余家，大都為小、微企業(yè)，盈利能力不強，缺乏引領技術的龍頭企業(yè)。

產(chǎn)業(yè)分散體現(xiàn)在資金分散、技術分散、企業(yè)布局分散，產(chǎn)業(yè)結構分散、市場分散等方面；管理方面存在政府部門管理歸口不統(tǒng)一、難于協(xié)調(diào)、多頭管理現(xiàn)象；政策支持方面也存在政策支持的集中度不高，缺乏專項計劃集中扶持，即使支持也過于分散，缺乏力度，缺乏持續(xù)性。

第四，傳感器高端人才匱乏是影響傳感器發(fā)展的最大瓶頸。徐開先表示，由于傳感器行業(yè)經(jīng)濟基礎、技術基礎、產(chǎn)業(yè)基礎較為薄弱，加之傳感器產(chǎn)業(yè)涉及學科多，要求知識面廣，新技術層出不窮，長期以來很難吸引國際頂級人才投身到傳感器行業(yè)工作；加之國內(nèi)由于學科設置不合理，缺少復合型人才培養(yǎng)機制，往往搞設計的不懂工藝、搞工藝的不明應用、會應用的不曉設計。造成很多企業(yè)缺乏既懂管埋、又懂技術、還會經(jīng)營的復合型人才，以及工藝人才和技能人才。

 從技術與應用突圍

“我們的突破口在于應用。”吳云橋表示，中國巨大的應用市場給傳感器發(fā)展帶來發(fā)展動力。他表示，家庭智能終端的普及和機器人應用家庭化，帶來細分產(chǎn)業(yè)傳感器應用的新突破。

但應用的突破也需要技術與工藝的支撐。

“國內(nèi)傳感器產(chǎn)業(yè)，大部分都在搞傳感器應用，特別是在物聯(lián)網(wǎng)，智能裝備方面的應用，而不愿涉及傳感器芯片的開發(fā)和研究，”徐開先表示，“因芯片研發(fā)投資極大，成本高，工藝裝備昂貴，資金回收周期長，且技術難度風險大，必須靠國家投資和資助，靠企業(yè)是難以為繼的。”

徐開先強調(diào)，如果不在傳感器芯片上投入和下功夫，那可能重蹈“IC芯片”之轍。如果傳感器芯片性能優(yōu)良，產(chǎn)品可靠性、穩(wěn)定性高，其應用不愁沒有市場。“加強IC與MEMS技術的集成與融合”徐開先建議，“IC與MEMS的集成與融合，是傳感技術產(chǎn)業(yè)發(fā)展的必由之路?！?/span>

“傳感器芯片是比較復雜的一個產(chǎn)業(yè)，涉及到研發(fā)、設計以及生產(chǎn)等環(huán)節(jié)?！薄拔覈诓牧?、制程以及工藝等關鍵技術領域缺乏積累，所以這是一個長期的過程?！?/span>

以MEMS為例，它用微加工技術將各種產(chǎn)品整合到基于硅的微電子芯片上，MEMS工藝與傳統(tǒng)的IC工藝有許多相似之處，如光刻、薄膜沉積、摻雜、刻蝕、化學機械拋光工藝等，但有些復雜的微結構難以用IC工藝實現(xiàn)，必須采用微加工技術制造。包括硅的體微加工技術、表面微加工技術和特殊微加工技術。

除此之外，MEMS制造還廣泛地使用多種特殊加工方法，包括鍵合、LIGA、電鍍、軟光刻、微模鑄、微立體光刻與微電火花加工等。

同通用芯片一樣，傳感芯片的生產(chǎn)制作過程尤為復雜。而且，在芯片生產(chǎn)加工中需要的材料中國產(chǎn)材料的使用率不足15%，高端制程和先進封裝領域，半導體材料的國產(chǎn)化率更低，且部分產(chǎn)品面臨嚴重的專利技術封鎖。但如果我國不能掌握MEMS傳感器的制造技術并主導其生產(chǎn)，無疑將阻礙傳感器產(chǎn)業(yè)前進的步伐。

業(yè)內(nèi)人士建議可重點放在非硅基的新材料、新機理、新工藝傳感器的研究。重點發(fā)展應用市場廣、具備一定產(chǎn)業(yè)基礎、易于快速產(chǎn)業(yè)化的智能傳感器及其核心元器件，運動感測組合傳感器中的加速度計、陀螺儀，環(huán)境感測組合傳感器中的壓力傳感器等。

 中國傳感器行業(yè)的總體現(xiàn)狀如何？

徐開先：簡單地概括我國傳感器行業(yè)，其總體現(xiàn)狀是：成績很大，問題不少，前景光明。

中國傳感器應用四大領域分別為工業(yè)及汽車電子產(chǎn)品、通信電子產(chǎn)品、消費電子產(chǎn)品。

其中，工業(yè)和汽車電子產(chǎn)品占市場份額的42.5％；壓力傳感器、溫度傳感器、流量傳感器、水平傳感器已表現(xiàn)出成熟市場的特征，流量傳感器、壓力傳感器、溫度傳感器的市場規(guī)模最大，分別占到整個傳感器市場的21%、 19%和14%。

我國傳感器產(chǎn)業(yè)鏈發(fā)展態(tài)勢良好，但外資企業(yè)優(yōu)勢明顯。目前我國大陸共有455家從事敏感元件及傳感器生產(chǎn)廠家，而整個產(chǎn)業(yè)鏈上下游所涉及的企業(yè)更是多達1400多家，傳感器年產(chǎn)量突破24億只，呈現(xiàn)出良好的發(fā)展態(tài)勢。（為2009年數(shù)據(jù)）

目前能批量生產(chǎn)的產(chǎn)品涉及光敏、電壓敏、熱敏、力敏、氣敏、磁敏 和濕敏7大類，約3000多個品種。

主要傳感器企業(yè)中，外資企業(yè)比重達到67%，國有企業(yè)和民族企業(yè)所占比重僅為33%。其中，在外資企業(yè)中，以日本、美 國、韓國和德國企業(yè)為多，比例分別為27%、20%、15%和13%。

 我國傳感器生產(chǎn)企業(yè)的地理分布情況？

徐開先：我國傳感器的生產(chǎn)企業(yè)主要集中在長三角地區(qū)，并逐漸形成以北京、上海、南京、深圳、沈陽和西安等中心城市為主的區(qū)域空間布局。我國主要傳感器企業(yè)有接近一半的比例分布在長三角地區(qū)，其他依次為珠三角、京津地區(qū)、中部地區(qū)及東北地區(qū)等。

長三角區(qū)域：以上海、無錫、南京為中心，逐漸形成包括熱敏、磁敏、圖像、稱重、光電、溫度、氣敏等較為完備的傳感器生產(chǎn)體系及產(chǎn)業(yè)配套。由中科院和高等院校 為核心，從事新型傳感器的研發(fā)和生產(chǎn)。如中科院上海微系統(tǒng)所，在無線傳感絡關鍵技術攻關及應用研究基礎上，提出了無線傳感絡三層體系結構。上海、南京等地的壓力傳感器，無錫美新半導體公司生產(chǎn)的MEMS加速度傳感器等都有優(yōu)良性能指標和市場前景。

珠三角區(qū)域：以深圳中心城市為主，由附近中小城市的外資企業(yè)組成以熱敏、磁敏、超聲波、稱重為主的傳感器產(chǎn)業(yè)體系。深圳清華研究院利用石英諧振原理的稱重傳感器，己產(chǎn)業(yè)化規(guī)模生產(chǎn)，產(chǎn)品主要出口國外。該院生產(chǎn)的紅外非接觸測溫儀在非典時期發(fā)揮過重要作用。

東北地區(qū)：以沈陽、長春、哈爾濱為主，主要生產(chǎn)MEMS力敏傳感器、氣敏傳感器、濕敏傳感器。如沈陽儀表院傳感器國家工程研究中心生產(chǎn)的MEMS硅壓阻、硅電容傳感器、SOI高溫傳感器等，哈爾濱49所生產(chǎn)的氣體傳感器等。

京津區(qū)域：主要以高校為主，從事新型傳感器的研發(fā)，在某些領域填補國內(nèi)空白。北京已建立微米/納米國家重點實驗室。清華、北大、北航等高校均有相關的傳感專 業(yè)和實驗室進行新器件的探用后擦試干凈討，北京中科院電子學研究所在傳感器芯片系統(tǒng)研究有很大進步。704所在航天傳感器方面做出重要貢獻。京津地區(qū)的傳感器企業(yè)的產(chǎn)品結構主要集中在高技術、綠色環(huán)保傳感器及元器件，代表企業(yè)有萊姆電子及圖爾克科技，此外，比業(yè)電子在微波傳感器領域填補了國內(nèi)該產(chǎn)業(yè)空白。

中部地區(qū)：以鄭州、武漢、太原為主，產(chǎn)學研緊密結合的模式，在PTC/NTC熱敏電阻、感應式數(shù)字液位傳感器和氣體傳感器等產(chǎn)業(yè)方面發(fā)展態(tài)勢良好。如鄭州煒盛 電子科技有限公司生產(chǎn)的氣體傳感器己實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化批量生產(chǎn)，在儀器儀表、工業(yè)領域、煤礦安全、石化、冶金、汽車電子等方面有廣泛應用。其它包括華工科技產(chǎn)業(yè) 股份有限公司高理電子分公司、太原理工天成科技股份有限公司、河南漢威電子股份有限公司等。

此外，傳感器產(chǎn)業(yè)伴隨著物聯(lián)的興起，在其他區(qū)域如陜西、四川和山東等地發(fā)展很快。西安優(yōu)勢微電子公司生產(chǎn)的唐芯一號，推出了國內(nèi)首顆物聯(lián)清算工作場地核心芯片。電量隔離傳感器、智能電量變送器、車用氧傳感器、火災探 測器、聲光報警、水流指示器等產(chǎn)品領域方面迅速發(fā)展，代表企業(yè)有綿陽市維博電子有限公司、康達（成都）電子有限公司和西安盛賽爾電子有限公司等。

 如何看待我國傳感器產(chǎn)業(yè)中存在的問題？

徐開先：整體上看，我國傳感器產(chǎn)業(yè)和技術發(fā)展仍存在著突出的問題。

一是核心技術和基礎能力缺乏，創(chuàng)新能力弱。傳感器在高精度、高敏感度分析、成分分析和特殊應用的高端方面差距巨大，中高檔傳感器產(chǎn)品幾乎100％從國外進口，90％芯片依賴國外，國內(nèi)缺乏對新原理、新器件和新材料傳感器的研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化能力。

二是共性關鍵技術尚未真正突破。設計技術、可靠性技術、封裝技術、裝備技術等方面都存在較大差距。國內(nèi)尚無一套有自主知識產(chǎn)權的傳感器設計軟件，國產(chǎn)傳感器可靠性比國外同類產(chǎn)品低1～2個數(shù)量級，傳感器封裝尚未形成系列、標準和統(tǒng)一接口。

傳感器接入開關電源工藝裝備研發(fā)與生產(chǎn)被國外壟斷。傳感器工藝制備中的某些關鍵技術，如深刻蝕技術（LIGA技術）、高溫歐姆接觸技術、使用溫度大于300℃、高可靠的MEMS封裝技術、快速測試技術、高仿真模擬技術等，尚未取得突破性進展和批量生產(chǎn)的驗證。

三是產(chǎn)業(yè)結構不合理，品種、規(guī)格、系列不全，技術指標不高。國內(nèi)傳感器產(chǎn)品往往形不成系列，產(chǎn)品在測量精度、溫度特性、響應時間、穩(wěn)定性、可靠性等指標與國外也有相當大的差距。

四是企業(yè)能力弱，從目前市場份額和市場競爭力指數(shù)來看，外資企業(yè)仍占據(jù)較大的優(yōu)勢。我國傳感器企業(yè)95%以上屬小型企業(yè)，規(guī)模小、人才短缺、研發(fā)能力弱、規(guī)模效益差，綜合實力較強的骨干企業(yè)較少，與國外企業(yè)無法抗衡。