光譜共焦的測量原理及厚度測量模式
光譜共焦位移傳感器通過一束白光(或多波長混合光) 經(jīng)過一個小孔,經(jīng)過鏡頭將不同的波長聚焦到光軸上, 色散地形成一條彩虹狀分布帶,照射到樣品上,部分反射光反射回去。沒有照射在光軸與物體表 面交點的光經(jīng)過分光部件, 照射在另一個小孔周圍被 阻擋,無法照射到光譜分析儀,不會干擾測量。照射在光軸與物體表面交 點的光經(jīng)過分光部件,通 過小孔照射到光譜分析儀。根據(jù)波長計算就可以獲得鏡頭到被測物距離。今天,小編介紹光譜共焦位移傳感器檢測原理和厚度檢測模型。
光譜共焦檢測技術(shù)分析特定表面上不一樣波度的聚點位置,以實現(xiàn)精確的尺寸檢測和微觀形態(tài)分析。根據(jù)該檢測原理,特定波度的可以聚點在樣品的前面,而對于透明材料樣品,兩種不一樣波度的可以聚點在樣品的前面和后面。這是光譜共焦點提供的兩種檢測模式(位移檢測模式、厚度檢測模式)。
厚度檢測模式:
檢測玻璃、透鏡等透明樣品時,波度不一樣的兩條線可以聚點在樣品的前后表面,獲得樣品折射系數(shù)參數(shù)后計算樣品的厚度值。共焦檢測較大,與卡尺等傳統(tǒng)接觸檢測工具相比,具有所有非接觸檢測的優(yōu)點,也具有通過單側(cè)檢測獲得樣品厚度值的特性。
折射系數(shù)直接影響厚度檢測的數(shù)據(jù)精度,因此在檢測開始時應(yīng)先檢查樣品的返射率。返射率可以參考相似材質(zhì)的數(shù)值,但為了獲得更精確的厚度檢測結(jié)果,必須使用返射率計檢測樣品的返射率。
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