光譜共焦的測量原理及厚度測量模式

光譜共焦位移傳感器通過一束白光（或多波長混合光） 經(jīng)過一個(gè)小孔，經(jīng)過鏡頭將不同的波長聚焦到光軸上， 色散地形成一條彩虹狀分布帶，照射到樣品上，部分反射光反射回去。沒有照射在光軸與物體表 面交點(diǎn)的光經(jīng)過分光部件， 照射在另一個(gè)小孔周圍被 阻擋，無法照射到光譜分析儀，不會(huì)干擾測量。照射在光軸與物體表面交 點(diǎn)的光經(jīng)過分光部件，通 過小孔照射到光譜分析儀。根據(jù)波長計(jì)算就可以獲得鏡頭到被測物距離。今天，小編介紹光譜共焦位移傳感器檢測原理和厚度檢測模型。

光譜共焦檢測技術(shù)分析特定表面上不一樣波度的聚點(diǎn)位置，以實(shí)現(xiàn)精確的尺寸檢測和微觀形態(tài)分析。根據(jù)該檢測原理，特定波度的可以聚點(diǎn)在樣品的前面，而對于透明材料樣品，兩種不一樣波度的可以聚點(diǎn)在樣品的前面和后面。這是光譜共焦點(diǎn)提供的兩種檢測模式(位移檢測模式、厚度檢測模式)。

厚度檢測模式：

檢測玻璃、透鏡等透明樣品時(shí)，波度不一樣的兩條線可以聚點(diǎn)在樣品的前后表面，獲得樣品折射系數(shù)參數(shù)后計(jì)算樣品的厚度值。共焦檢測較大，與卡尺等傳統(tǒng)接觸檢測工具相比，具有所有非接觸檢測的優(yōu)點(diǎn)，也具有通過單側(cè)檢測獲得樣品厚度值的特性。

折射系數(shù)直接影響厚度檢測的數(shù)據(jù)精度，因此在檢測開始時(shí)應(yīng)先檢查樣品的返射率。返射率可以參考相似材質(zhì)的數(shù)值，但為了獲得更精確的厚度檢測結(jié)果，必須使用返射率計(jì)檢測樣品的返射率。