小流量，大助力，推進(jìn)芯片發(fā)展

微電子學(xué)是全球通信的骨干中樞神經(jīng)系統(tǒng)。未來，國家和公司的競爭能力將越來越取決于如何推動數(shù)字化轉(zhuǎn)型。芯片的發(fā)展速度直接影響了數(shù)字化進(jìn)程的腳步。

從技術(shù)角度來看，

經(jīng)濟(jì)和社會的中樞神經(jīng)系統(tǒng)離不開芯片

從芯片主要應(yīng)用領(lǐng)域的變化趨勢中可以看到，以前芯片的主要應(yīng)用領(lǐng)域是計算機、機器控制系統(tǒng)和各種類型的傳感器系統(tǒng)。隨時代發(fā)展，現(xiàn)在對芯片需求量日益增加，其中通信技術(shù)已經(jīng)超過了計算機，成為最大的使用領(lǐng)域，占比超過三分之一。

新冠病毒大流行階段并未抑制芯片行業(yè)的發(fā)展，反而凸顯了各種電子和虛擬通信基礎(chǔ)設(shè)施存在的弱點，間接加快了數(shù)字化的需求及相關(guān)投資。ChatGPT熱潮，更是將人工智能推向輿論中央。

我們每個人都是芯片的最終消費者。

日常生活都需要半導(dǎo)體產(chǎn)品，同樣也離不開芯片，例如日常使用的LED燈泡、數(shù)碼相機、健身手環(huán)等。不知不覺間，芯片已經(jīng)滲透到我們生活的每個角落，無處不在。

能源轉(zhuǎn)型推動半導(dǎo)體向高質(zhì)量發(fā)展

在這個能源轉(zhuǎn)型、智能設(shè)備普及、電動汽車發(fā)展日新月異的時代，芯片等半導(dǎo)體產(chǎn)品的需求量日益增加。光伏系統(tǒng)和儲能系統(tǒng)需要高性能的專用芯片，高透明度和精確的規(guī)劃是加工定制類芯片的先決條件之一，需要定制的閥門和系統(tǒng)解決方案來制造它們。

蓋米集團(tuán)是知名的閥門、測量及控制系統(tǒng)制造生產(chǎn)商，總部位于德國，全球共設(shè)有27家獨資子公司，分支機構(gòu)和商務(wù)伙伴遍布50多個國家。

在功率芯片和MEMS等產(chǎn)品領(lǐng)域，歐洲公司是市場領(lǐng)導(dǎo)者之一，并且其在建設(shè)新工廠以提高產(chǎn)能。它們在生產(chǎn)中需要蓋米解決方案。蓋米設(shè)計的VMB多通道被設(shè)計師、最終用戶和工廠工程師高度認(rèn)可并投產(chǎn)使用。介質(zhì)借助蓋米多通道進(jìn)行分配。它們代表了一般的中央供應(yīng)系統(tǒng)和實際生產(chǎn)部門中的加工設(shè)備之間的連接。

多通道的基礎(chǔ)組成原理基本相同：

?通過入口輸送介質(zhì)

? 引導(dǎo)介質(zhì)通過主管路，分配到各個支管路

? 支管路介質(zhì)進(jìn)入工藝段

? 集成背壓控制系統(tǒng)可選，以確?；芈酚凶銐虻慕橘|(zhì)供應(yīng)

? 在進(jìn)行維護(hù)時，多通道可徹底排空

多通道的主要優(yōu)點如下：

• 一站式解決方案，可在工廠快速輕松安裝

• 配備高Kv的閥門類型

• 多通道設(shè)計，空間要求低/連接點數(shù)量少

• 系統(tǒng)中滯留的介質(zhì)減少到可測范圍內(nèi)，流量得到優(yōu)化，排空得到改善

• 減少連接點數(shù)，降低泄漏風(fēng)險

• 增強了整個系統(tǒng)的性能并減少了介質(zhì)損耗

工廠生產(chǎn)中錯誤的規(guī)劃將導(dǎo)致材料污染、產(chǎn)線停工及不必要的調(diào)試等，降低產(chǎn)線效率，產(chǎn)生額外成本。蓋米制造的組合閥經(jīng)過精準(zhǔn)測試，具備高效防漏裝置。

蓋米閥門助力芯片制造

為滿足使用超純水和化學(xué)品的嚴(yán)苛要求，在半導(dǎo)體制造行業(yè)中閥門、測量及控制系統(tǒng)擁有著廣泛的應(yīng)用，例如超純硅生產(chǎn)和晶片生產(chǎn)、濕法涂層工藝、超純水處理廠的化學(xué)品清洗流程、化學(xué)品供應(yīng)及濕法制程。

自1988年起，蓋米就已經(jīng)具有可應(yīng)用于微電子半導(dǎo)體行業(yè)的超純閥門產(chǎn)品，并且在測量和控制系統(tǒng)方面的嫻熟經(jīng)驗。蓋米早早意識到了潔凈室條件對生產(chǎn)超純閥門的重要性，從而加大了投資。2012年9月，位于瑞士Emmen的蓋米潔凈室正式投產(chǎn)。蓋米的超純閥門產(chǎn)品，全部都是在瑞士潔凈室工廠以前沿技術(shù)和工藝進(jìn)行制造、噴射、清潔、裝配、檢測和包裝，在半導(dǎo)體市場上擁有較強的競爭力。

蓋米也與一家技術(shù)領(lǐng)先的設(shè)備工程公司展開合作，打造了EUV光掩膜清洗系統(tǒng)。EUV光掩膜盒在清洗時，通過升高系統(tǒng)內(nèi)部溫度加快清洗過程。而此時，控制設(shè)備電源的溫度及熱去離子水的供給和混合已然成為了技術(shù)難點。

下圖展示了蓋米與合作伙伴的研發(fā)成果，通過2套帶有步進(jìn)電機執(zhí)行機構(gòu)的蓋米C53電動控制閥與PLC及溫度傳感器緊密合作，實現(xiàn)了溫水流量的精準(zhǔn)控制，進(jìn)而能夠清潔高度敏感且昂貴的EUV光掩膜傳輸盒。該執(zhí)行器具有以下主要優(yōu)點：

• 兩個執(zhí)行器并行控制，以實現(xiàn)盡可能快地達(dá)到所需的混合比，并在有波動的狀態(tài)下盡可能保持穩(wěn)定供應(yīng)

• 裝置中的“熱DI”溫度約為70-90°C

• 閥組使混合液保持溫度穩(wěn)定，例如固定在63℃

• 集成止回閥可防止DI回流以防止兩條供應(yīng)管線混合

• PLC、溫度傳感器和控制閥對精確的溫度控制器結(jié)果起決定性作用

蓋米集成的解決方案將日漸普及，并帶來諸多優(yōu)點，如資源節(jié)約型材料的選用、更完善的功能、較長的使用壽命以及長期的成本效益。因此，最終用戶、微芯片、MEMS、LED、觸摸面板和平板屏幕制造商都將傾向并受益于業(yè)內(nèi)合作所打造的集成解決方案。

萬物互聯(lián)的智能世界得益于通信技術(shù)的發(fā)展，而通信技術(shù)的發(fā)展源于半導(dǎo)體技術(shù)的不斷革新。共筑便利、互聯(lián)的世界是社會發(fā)展共同的愿景，更是大眾對生活的追求。德國蓋米集團(tuán)作為知名的閥門、測量及控制系統(tǒng)制造生產(chǎn)企業(yè)，將不斷助力半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展，共同推進(jìn)全球數(shù)字化進(jìn)行。